[實(shí)用新型]一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821559966.9
• 申請(qǐng)日: 2018-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN208933462U
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王晗權(quán);王興杰;周年生;方輝鶴;張洪波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 百琪達(dá)智能科技（寧波）股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 寧波浙成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33268
• 代理人: 洪松

本實(shí)用新型公開了一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)，包括進(jìn)料倉，進(jìn)料倉內(nèi)設(shè)置有第一基片架和進(jìn)料機(jī)構(gòu)，進(jìn)料機(jī)構(gòu)為三軸進(jìn)料機(jī)械手，三軸進(jìn)料機(jī)械手包括進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道、真空吸盤、進(jìn)料驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈分別設(shè)置于進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道上，且通過進(jìn)料驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈在進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道上滑動(dòng)，真空吸盤設(shè)置于進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈的輸出端，真空吸盤用以將釹鐵硼磁片移送至第一基片架上。本實(shí)用新型能夠自動(dòng)將釹鐵硼磁片放置于基片架上，具有自動(dòng)化程度高、工作效率高的特點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及磁體制備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

釹鐵硼（Nd2Fe14B）永磁體具有高剩磁、高矯頑力和高磁能積，是現(xiàn)今所知的綜合性能最高的稀土永磁材料，促進(jìn)了磁學(xué)器件的小型化、輕型化的發(fā)展，使得在風(fēng)力發(fā)電、變頻壓縮機(jī)和新能源乘用車等高端熱門領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

為了獲得高性能的燒結(jié)釹鐵硼永磁體主要運(yùn)用到重稀土等元素的添加，晶界擴(kuò)散添加重稀土元素成為近年來研究的熱點(diǎn)，使用晶界擴(kuò)散的方法，使重稀土元素?cái)U(kuò)散進(jìn)入磁體晶界及主相晶粒邊緣區(qū)域，既能達(dá)到提高各向異性場(chǎng)的目的，又不明顯的降低剩磁和磁能積，同時(shí)成本微量增加。

磁控濺射便是晶界擴(kuò)散添加稀土元素的方法中的一種，磁控濺射是通過磁控濺射設(shè)備濺射重稀土金屬在釹鐵硼磁體表面，磁控濺射時(shí)，先要將釹鐵硼磁片放置于基片架上，使一面濺射鍍膜之后冷卻，再進(jìn)行翻面，再對(duì)另一面進(jìn)行濺射，但在現(xiàn)有技術(shù)中，均是通過人工將釹鐵硼磁片放置于基片架上，這無疑增加了濺射的時(shí)間，降低了生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足和缺陷，提供一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)，能夠自動(dòng)將釹鐵硼磁片放置于基片架上，具有自動(dòng)化程度高、工作效率高的特點(diǎn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案。

一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)，包括進(jìn)料倉，進(jìn)料倉內(nèi)設(shè)置有第一基片架和進(jìn)料機(jī)構(gòu)，進(jìn)料機(jī)構(gòu)為三軸進(jìn)料機(jī)械手，三軸進(jìn)料機(jī)械手包括進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道、真空吸盤、進(jìn)料驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈分別設(shè)置于進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道上，且通過進(jìn)料驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈在進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道上滑動(dòng)，真空吸盤設(shè)置于進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈的輸出端，真空吸盤連接有真空發(fā)生器, 真空吸盤用以將釹鐵硼磁片移送至第一基片架上。

進(jìn)一步的，進(jìn)料倉連接有真空系統(tǒng)。

進(jìn)一步的，進(jìn)料驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過齒輪帶動(dòng)進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈在進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道上滑動(dòng)。

進(jìn)一步的，電機(jī)的輸出端還連接有減速機(jī)。

本實(shí)用新型的有益效果為：本實(shí)用新型的鍍膜設(shè)備，使用時(shí)，將裝有釹鐵硼磁片的料盒放入進(jìn)料倉內(nèi)，再通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈在進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道上滑動(dòng)至料盒上方，真空吸盤將料盒內(nèi)的釹鐵硼磁片吸附，再通過驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈在進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道上滑動(dòng)至第一基片架上，將釹鐵硼磁片碼放至第一基片架上，待碼放完成后再進(jìn)行鍍膜處理，能夠自動(dòng)將釹鐵硼磁片放置于基片架上，具有自動(dòng)化程度高、工作效率高的特點(diǎn)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型的三軸進(jìn)料機(jī)械手結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中，1.進(jìn)料倉；2.三軸進(jìn)料機(jī)械手；3.進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈；4.進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈；5.進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈；6.進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道；7.真空吸盤。