[實(shí)用新型]一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821559966.9
• 申請(qǐng)日: 2018-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208933462U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王晗權(quán);王興杰;周年生;方輝鶴;張洪波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 百琪達(dá)智能科技（寧波）股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 寧波浙成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33268
• 代理人: 洪松

1.一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)，包括進(jìn)料倉(cāng)（1）,其特征在于：進(jìn)料倉(cāng)（1）內(nèi)設(shè)置有第一基片架和進(jìn)料機(jī)構(gòu)，進(jìn)料機(jī)構(gòu)為三軸進(jìn)料機(jī)械手（2），三軸進(jìn)料機(jī)械手（2）包括進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈（3）、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈（4）、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈（5）、進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道（6）、真空吸盤(pán)（7）、進(jìn)料驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈（3）、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈（4）、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈（5）分別設(shè)置于進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道（6）上，且通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈（3）、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈（4）、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈（5）在進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道（6）上滑動(dòng)，真空吸盤(pán)（7）設(shè)置于進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈（5）的輸出端，真空吸盤(pán)（7）連接有真空發(fā)生器, 真空吸盤(pán)（7）用以將釹鐵硼磁片移送至第一基片架上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)，其特征在于：進(jìn)料倉(cāng)（1）內(nèi)連接有真空系統(tǒng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)，其特征在于：驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)通過(guò)齒輪帶動(dòng)進(jìn)料機(jī)械手X軸鏈（3）、進(jìn)料機(jī)械手Y軸鏈（4）、進(jìn)料機(jī)械手Z軸鏈（5）在進(jìn)料機(jī)械手運(yùn)行軌道（6）上滑動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種連續(xù)鍍膜設(shè)備的進(jìn)料機(jī)構(gòu)，其特征在于：電機(jī)的輸出端還連接有減速機(jī)。