[實用新型]一種旋轉靶材的厚度檢測裝置

有效

• 申請號: 201821556665.0
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN209243161U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 陳躬德;趙小虎;陳魁
• 申請（專利權）人: 福建省創飛新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/32;G01B11/06
• 代理公司: 福州盈創知識產權代理事務所(普通合伙) 35226
• 代理人: 李明通

本實用新型涉及一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，特別涉及于靶材制造技術領域。本實用新型包括支撐腿、支撐板、基座、移動底座、第一夾塊、氣缸、第二夾塊、支架、激光發射器、透鏡、信號處理機構、防滑凸起、激光接收器、光電轉換器，所述支撐板上設有兩個所述基座，每個所述基座上設有滑行軌道，所述基座上方設有所述移動底座，所述移動底座底部設有與所述滑行軌道相匹配的滑塊，其中一個所述基座上的每個所述移動底座上固定有所述氣缸，所述氣缸通過活塞桿與所述第二夾塊一端相連，其中另一個所述基座上的每個所述移動底座上固定有所述第一夾塊，所述第一凹槽與所述第二凹槽相對設置。方便快速，提高靶材厚度檢測精度和準確度，適用性強。

技術領域

本實用新型涉及于靶材制造技術領域，特別涉及于一種旋轉靶材的厚度檢測裝置。

背景技術

靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時，會產生不同的殺傷破壞效應。

當旋轉靶材消耗到一定程度時，需對靶材的剩余厚度進行測量，以評估靶材的剩余壽命。現有的靶材的厚度檢測裝置沒有配套的夾具，靶材在檢測的過程中容易發生打滑，嚴重影響檢測的準確性及效率。

實用新型的內容

（1）要解決的技術問題

本實用新型提供一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，克服了現有的靶材的厚度檢測裝置沒有配套的夾具，靶材在檢測的過程中容易發生打滑，嚴重影響檢測的準確性及效率的缺點。

（2）技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了這樣一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，包括支撐腿、支撐板、基座、移動底座、第一夾塊、氣缸、第二夾塊、支架、激光發射器、透鏡、信號處理機構、防滑凸起、激光接收器、光電轉換器，所述支撐腿上固定設有支撐板，所述支撐板上平行設有兩個所述基座，兩個所述基座之間設有所述激光接收器，每個所述基座上至少設有兩個滑行軌道，所述基座上方設有所述移動底座，所述移動底座底部設有與所述滑行軌道相匹配的滑塊，其中一個所述基座上的每個所述移動底座上固定有所述氣缸，所述氣缸通過活塞桿與所述第二夾塊一端相連，所述第二夾塊另一端面中部開設有第二凹槽，其中另一個所述基座上的每個所述移動底座上固定有所述第一夾塊，所述第一夾塊一端面中部開設有第一凹槽，所述第一凹槽與所述第二凹槽相對設置，所述第一凹槽內壁設有第一防滑件，所述第二凹槽內壁設有第二防滑件，所述支撐板上還設有所述支架，所述支架上方設有所述信號處理機構和所述光電轉換器，所述支架上固定有所述激光發射器，所述激光發射器下方設有所述透鏡，所述透鏡通過固定桿固定在所述支架一側。

優選地，所述第一防滑件、所述第二防滑件上均勻設有防滑凸起。

優選地，所述激光接收器與所述光電轉換器電性相連，所述光電轉換器與所述信號處理機構電性連接。

優選地，所述滑行軌道的數量與所述滑塊的數量相同，且至少為三個。

優選地，所述第一凹槽、所述第二凹槽為弧形凹槽。

（3）有益效果

本實用新型提供一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，克服了現有的靶材的厚度檢測裝置沒有配套的夾具，靶材在檢測的過程中容易發生打滑，嚴重影響檢測的準確性及效率的缺點。與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：

1、弧形凹槽的設計可以與靶材的形狀更加貼合，弧形凹槽內的防滑件上均勻設有防滑凸起，增大摩擦力，可以較好地防止靶材檢測過程的打滑和晃動，提高靶材厚度檢測的準確性和效率。

2、移動底座和基座的設置可以方便根據靶材的長度進行移動，可以適應不同長度的靶材，提高了實用性。

附圖說明