[實用新型]一種旋轉靶材的厚度檢測裝置

有效

• 申請號: 201821556665.0
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN209243161U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 陳躬德;趙小虎;陳魁
• 申請（專利權）人: 福建省創飛新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/32;G01B11/06
• 代理公司: 福州盈創知識產權代理事務所(普通合伙) 35226
• 代理人: 李明通

1.一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，其特征在于，包括支撐腿（1）、支撐板（2）、基座（3）、移動底座（4）、第一夾塊（5）、氣缸（6）、第二夾塊（8）、支架（9）、激光發射器（10）、透鏡（11）、信號處理機構（12）、防滑凸起（13）、激光接收器（14）、光電轉換器（15），所述支撐腿（1）上固定設有支撐板（2），所述支撐板（2）上平行設有兩個所述基座（3），兩個所述基座（3）之間設有所述激光接收器（14），每個所述基座（3）上至少設有兩個滑行軌道（31），所述基座（3）上方設有所述移動底座（4），所述移動底座（4）底部設有與所述滑行軌道（31）相匹配的滑塊（41），其中一個所述基座（3）上的每個所述移動底座（4）上固定有所述氣缸（6），所述氣缸（6）通過活塞桿（7）與所述第二夾塊（8）一端相連，所述第二夾塊（8）另一端面中部開設有第二凹槽（81），其中另一個所述基座（3）上的每個所述移動底座（4）上固定有所述第一夾塊（5），所述第一夾塊（5）一端面中部開設有第一凹槽（51），所述第一凹槽（51）與所述第二凹槽（81）相對設置，所述第一凹槽（51）內壁設有第一防滑件（52），所述第二凹槽（81）內壁設有第二防滑件（82），所述支撐板（2）上還設有所述支架（9），所述支架（9）上方設有所述信號處理機構（12）和所述光電轉換器（15），所述支架（9）上固定有所述激光發射器（10），所述激光發射器（10）下方設有所述透鏡（11），所述透鏡（11）通過固定桿固定在所述支架（9）一側。

2.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，其特征在于，所述第一防滑件（52）、所述第二防滑件（82）上均勻設有防滑凸起（13）。

3.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，其特征在于，所述激光接收器（14）與所述光電轉換器（15）電性相連，所述光電轉換器（15）與所述信號處理機構（12）電性連接。

4.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，其特征在于，所述滑行軌道（31）的數量與所述滑塊（41）的數量相同，且至少為三個。

5.根據權利要求1所述的一種旋轉靶材的厚度檢測裝置，其特征在于，所述第一凹槽（51）、所述第二凹槽（81）為弧形凹槽。