[實(shí)用新型]探針臺的載物臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821555050.6
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN208969198U
• 公開（公告）日: 2019-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔡景鴻;許乃聰;黃金鳳
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市致行科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R1/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種探針臺的載物臺，其特征是：包括底座(1)以及水平設(shè)置于底座(1)上的承物板(2)，所述承物板(2)包括支撐板(21)，所述支撐板(21)凹陷有盲孔(211)，所述盲孔(211)直徑大于待測半導(dǎo)體元件的最大長度，所述承物板(2)還包括供待測半導(dǎo)體元件放置的彈性層(22)，所述彈性層(22)覆蓋在支撐板(21)上方且封閉盲孔(211)，所述彈性層(22)與支撐板(21)固定連接，所述支撐板(21)設(shè)有連通盲孔(211)的充氣管(3)，所述充氣管(3)連通有通閉充氣管(3)的閥門(31)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針臺的載物臺，其特征是：所述彈性層(22)的拉伸形變量大于0%小于100%。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的探針臺的載物臺，其特征是：所述彈性層(22)遠(yuǎn)離支撐板(21)的表面凹陷有供待測半導(dǎo)體元件放入的安裝槽(223)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針臺的載物臺，其特征是：所述承物板(2)包括套管(51)，所述套管(51)一端連接有沿套管(51)周向延伸且首尾連接以呈環(huán)狀的卡板(52)，所述套管(51)與支撐板(21)套接時，所述卡板(52)抵接在彈性層(22)遠(yuǎn)離支撐板(21)的表面上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針臺的載物臺，其特征是：所述承物板(2)還包括限制套管(51)與支撐板(21)分離的連接件(4)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針臺的載物臺，其特征是：所述承物板(2)與底座(1)可拆卸連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的探針臺的載物臺，其特征是：所述底座(1)凹陷有卡孔(11)，所述支撐板(21)嵌于卡孔(11)中。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針臺的載物臺，其特征是：所述卡孔(11)的孔底嵌有電磁鐵(12)，所述支撐板(21)為鐵板，所述電磁鐵(12)頂部與卡孔(11)的孔底平齊。