[實用新型]一種外置式的晶棒自動夾持機構

有效

• 申請號: 201821552224.3
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN209007337U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 凃瑾;曹建偉;朱亮;盧嘉彬;王思宇;高紅剛;聶魁宏;周鋒;劉文濤
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種外置式的晶棒自動夾持機構，其特征在于，包括機械手組件、機械手安裝座、自動復位裝置與驅動組件；

所述機械手安裝座前側設有機械手安裝框架，所述機械手安裝框架包括底板及四周的四塊側板；機械手安裝框架上前側板上設有橫向的移動機械手導軌，移動機械手導軌端部設有固定側機械手，移動機械手導軌上通過滑塊設有移動側機械手；機械手安裝框架內部設有移動機械手絲杠組件，移動機械手絲杠組件端部連接同步帶輪組件；移動機械手導軌上下兩側設有兩個與導軌平行的條形孔；條形孔內均設有移動機械手固定板，所述移動機械手固定板一端連接移動側機械手的頂端與底端，另一端與移動機械手絲杠組件的絲杠副連接；

所述自動復位裝置包括自動復位滑軌、自動復位調節裝置與自動復位彈簧裝置，自動復位滑軌水平安裝于機械手安裝框架后側板頂端，機械手轉接板通過滑塊與自動復位滑軌相連；自動復位調節裝置包括兩塊限位板，分別安裝在機械手轉接板和機械手安裝框架后側板上；安裝在機械手安裝框架后側板上的限位板設有螺桿，該螺桿端面頂著另一塊限位板，通過擰動螺桿能調節機械手安裝框架和機械手轉接板之間的相對位置；自動復位彈簧裝置包括限位板和彈簧安裝座，彈簧安裝座安裝在機械手轉接板上，限位板安裝在機械手安裝框架后側板上；彈簧安裝座內部設有彈簧，彈簧一端與其接觸，另一端與限位板接觸；通過自動復位調節裝置的調整，能改變機械手安裝框架和機械手轉接板之間的相對位置，并調整彈簧的壓縮量至合適值；

所述驅動組件包括驅動電機，驅動電機通過電機安裝座固設于機械手安裝框架底部，電機轉接板分別與電機安裝座和驅動電機相固定；同步帶輪組件分別于驅動電機和移動機械手絲組件相連，用于傳遞扭矩和轉動；同步帶調節裝置固定在電機安裝座上，通過螺紋調節驅動電機與移動機械手絲桿組件之間的距離，能調整同步帶的松緊程度。

2.根據權利要求1所述的夾持機構，其特征在于，所述驅動電機為伺服電機。

3.根據權利要求1所述的夾持機構，其特征在于，所述機械手安裝框架頂部設有限位傳感器，所述限位傳感器數量為三個，分別用于前后限位及原點信號。

4.根據權利要求1所述的夾持機構，其特征在于，所述機械手安裝框架頂部還設有聚氨酯隔套作為機械限位。

5.根據權利要求1所述的夾持機構，其特征在于，同步帶防護罩固定在機械手安裝框架前側板底部，將同步帶輪組件罩起來。

6.根據權利要求1所述的夾持機構，其特征在于，所述移動機械手絲桿組件中的絲桿選用滾珠絲桿。

7.根據權利要求1所述的夾持機構，其特征在于，機械手調節裝置包括固定塊和調節螺釘，固定塊上設有調節螺釘，安裝在機械手安裝座上，左右各一個，調節螺釘的端面緊貼機械手轉接板的下表面，通過轉動調節螺釘，能調節機械手轉接板左右的高低，保證固定處機械手平面與晶棒夾持面平行。

8.根據權利要求1所述的夾持機構，其特征在于，兩個緩沖墊分別設于移動側機械手和固定側機械手上，作為晶棒夾持的緩沖部分。

9.根據權利要求8所述的夾持機構，其特征在于，所述緩沖墊為尼龍緩沖墊。