[實用新型]一種外置式的晶棒自動夾持機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821552224.3
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN209007337U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 凃瑾;曹建偉;朱亮;盧嘉彬;王思宇;高紅剛;聶魁宏;周鋒;劉文濤
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種外置式的晶棒自動夾持機構(gòu)，其特征在于，包括機械手組件、機械手安裝座、自動復(fù)位裝置與驅(qū)動組件；

所述機械手安裝座前側(cè)設(shè)有機械手安裝框架，所述機械手安裝框架包括底板及四周的四塊側(cè)板；機械手安裝框架上前側(cè)板上設(shè)有橫向的移動機械手導(dǎo)軌，移動機械手導(dǎo)軌端部設(shè)有固定側(cè)機械手，移動機械手導(dǎo)軌上通過滑塊設(shè)有移動側(cè)機械手；機械手安裝框架內(nèi)部設(shè)有移動機械手絲杠組件，移動機械手絲杠組件端部連接同步帶輪組件；移動機械手導(dǎo)軌上下兩側(cè)設(shè)有兩個與導(dǎo)軌平行的條形孔；條形孔內(nèi)均設(shè)有移動機械手固定板，所述移動機械手固定板一端連接移動側(cè)機械手的頂端與底端，另一端與移動機械手絲杠組件的絲杠副連接；

所述自動復(fù)位裝置包括自動復(fù)位滑軌、自動復(fù)位調(diào)節(jié)裝置與自動復(fù)位彈簧裝置，自動復(fù)位滑軌水平安裝于機械手安裝框架后側(cè)板頂端，機械手轉(zhuǎn)接板通過滑塊與自動復(fù)位滑軌相連；自動復(fù)位調(diào)節(jié)裝置包括兩塊限位板，分別安裝在機械手轉(zhuǎn)接板和機械手安裝框架后側(cè)板上；安裝在機械手安裝框架后側(cè)板上的限位板設(shè)有螺桿，該螺桿端面頂著另一塊限位板，通過擰動螺桿能調(diào)節(jié)機械手安裝框架和機械手轉(zhuǎn)接板之間的相對位置；自動復(fù)位彈簧裝置包括限位板和彈簧安裝座，彈簧安裝座安裝在機械手轉(zhuǎn)接板上，限位板安裝在機械手安裝框架后側(cè)板上；彈簧安裝座內(nèi)部設(shè)有彈簧，彈簧一端與其接觸，另一端與限位板接觸；通過自動復(fù)位調(diào)節(jié)裝置的調(diào)整，能改變機械手安裝框架和機械手轉(zhuǎn)接板之間的相對位置，并調(diào)整彈簧的壓縮量至合適值；

所述驅(qū)動組件包括驅(qū)動電機，驅(qū)動電機通過電機安裝座固設(shè)于機械手安裝框架底部，電機轉(zhuǎn)接板分別與電機安裝座和驅(qū)動電機相固定；同步帶輪組件分別于驅(qū)動電機和移動機械手絲組件相連，用于傳遞扭矩和轉(zhuǎn)動；同步帶調(diào)節(jié)裝置固定在電機安裝座上，通過螺紋調(diào)節(jié)驅(qū)動電機與移動機械手絲桿組件之間的距離，能調(diào)整同步帶的松緊程度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動電機為伺服電機。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持機構(gòu)，其特征在于，所述機械手安裝框架頂部設(shè)有限位傳感器，所述限位傳感器數(shù)量為三個，分別用于前后限位及原點信號。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持機構(gòu)，其特征在于，所述機械手安裝框架頂部還設(shè)有聚氨酯隔套作為機械限位。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持機構(gòu)，其特征在于，同步帶防護罩固定在機械手安裝框架前側(cè)板底部，將同步帶輪組件罩起來。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持機構(gòu)，其特征在于，所述移動機械手絲桿組件中的絲桿選用滾珠絲桿。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持機構(gòu)，其特征在于，機械手調(diào)節(jié)裝置包括固定塊和調(diào)節(jié)螺釘，固定塊上設(shè)有調(diào)節(jié)螺釘，安裝在機械手安裝座上，左右各一個，調(diào)節(jié)螺釘?shù)亩嗣婢o貼機械手轉(zhuǎn)接板的下表面，通過轉(zhuǎn)動調(diào)節(jié)螺釘，能調(diào)節(jié)機械手轉(zhuǎn)接板左右的高低，保證固定處機械手平面與晶棒夾持面平行。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持機構(gòu)，其特征在于，兩個緩沖墊分別設(shè)于移動側(cè)機械手和固定側(cè)機械手上，作為晶棒夾持的緩沖部分。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的夾持機構(gòu)，其特征在于，所述緩沖墊為尼龍緩沖墊。