[實用新型]一種外置式的晶棒自動夾持機構

有效

• 申請號: 201821552224.3
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN209007337U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 凃瑾;曹建偉;朱亮;盧嘉彬;王思宇;高紅剛;聶魁宏;周鋒;劉文濤
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B24B41/06
• 分類號: B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

本實用新型涉及晶棒外圓滾磨領域，旨在提供一種外置式的晶棒自動夾持機構。該機構包括包括機械手組件、機械手安裝座、自動復位裝置與驅動組件。機械手安裝座前側設有機械手安裝框架，機械手組件設于機械手安裝框架前側，驅動組件設于機械手安裝框架內，用于驅動機械手組件，自動復位裝置設于機械手安裝框架頂端，用于實現機械手組件的自動復位。本產品實現了在設備外部自動夾持晶棒的功能，使用本實用新型能夠實現晶棒的自動上、下料及自動對中。有效的減少了人工操作，同時保證了裝夾精度，從而可有效控制加工余量，減少晶棒損耗，提高加工效率。通過各類機械傳動結構相連并與電機驅動，結構穩定，動作簡單，夾持快速可靠。

技術領域

本實用新型是關于晶棒外圓滾磨領域，特別涉及一種外置式的晶棒自動夾持機構。

背景技術

傳統晶棒外圓滾磨加工中，大部分晶棒都是以端面為基準，夾持后加工外圓。而一般來說，夾持機構均位于設備內部，只在設備外圓加工時起到夾持作用。在晶棒外圓滾磨過程中，晶棒的上、下料，及晶棒對中時晶棒位置的調整只能靠人工來完成。人工上、下料受晶棒的質量影響極大，若晶棒質量稍重，就會存在人員搬不動或者體力消耗過大的情況，導致晶棒需要再次截斷加工后，再進行滾磨，極其影響加工效率。同時人工上、下料，及時性不高，會存在機器閑置等待人工操作的情況，使整體工序進行不順暢，浪費時間多。同時人工調節晶棒位置，對人員的素質要求和熟練度要求較高，否則會因為位置調節不佳，導致加工余量偏大。

由于人工上、下料及晶棒對中時人工調節晶棒位置存在以上弊端，急需實現上、下料及晶棒對中的自動化。而實現兩者自動化的前提，是能夠以機械結構代替人工，在設備外部自動夾持晶棒。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于克服現有技術中存在的不足，提供一種外置式的晶棒自動夾持機構。

為解決上述技術問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種外置式的晶棒自動夾持機構，包括機械手組件、機械手安裝座、自動復位裝置與驅動組件。

機械手安裝座前側設有機械手安裝框架，機械手安裝框架包括底板及四周的四塊側板。機械手安裝框架上前側板上設有橫向的移動機械手導軌，移動機械手導軌端部設有固定側機械手，移動機械手導軌上通過滑塊設有移動側機械手。機械手安裝框架內部設有移動機械手絲杠組件，移動機械手絲杠組件端部連接同步帶輪組件。移動機械手導軌上下兩側設有兩與導軌平行的條形孔。條形孔內均設有移動機械手固定板，所述移動機械手固定板一端連接移動側機械手的頂端與底端，另一端與移動機械手絲杠組件的絲杠副連接。

自動復位裝置包括自動復位滑軌、自動復位調節裝置與自動復位彈簧裝置，自動復位滑軌水平安裝于機械手安裝框架后側板頂端，機械手轉接板通過滑塊與自動復位滑軌相連；自動復位調節裝置包括兩塊限位板，分別安裝在機械手轉接板和機械手安裝框架后側板上；安裝在機械手安裝框架后側板上的限位板設有螺桿，該螺桿端面頂著另一塊限位板，通過擰動螺桿可以調節機械手安裝框架和機械手轉接板之間的相對位置；自動復位彈簧裝置包括限位板和彈簧安裝座，彈簧安裝座安裝在機械手轉接板上，限位板安裝在機械手安裝框架后側板上；彈簧安裝座內部設有彈簧，彈簧一端與其接觸，另一端與限位板接觸；通過自動復位調節裝置的調整，可改變機械手安裝框架和機械手轉接板之間的相對位置，并調整彈簧的壓縮量至合適值；

驅動組件包括驅動電機，驅動電機通過電機安裝座固設于機械手安裝框架底部，電機轉接板分別與電機安裝座和驅動電機相固定。同步帶輪組件分別于驅動電機和移動機械手絲組件相連，用于傳遞扭矩和轉動。同步帶調節裝置固定在電機安裝座上，通過螺紋調節驅動電機與移動機械手絲桿組件之間的距離，從而調整同步帶的松緊程度，使其可以有效傳動，又不會影響其壽命。

作為進一步的改進，驅動電機選用伺服電機，使移動側機械手位置控制更加精確。

作為進一步的改進，機械手安裝框架頂部設有限位傳感器，限位傳感器數量為三個，分別用于前后限位及原點信號。