[實(shí)用新型]一種平面研磨精密定尺寸裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821551136.1
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN208895848U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃玉美;馮小春;王妮娜;李耀;喬森;馬玉山;楊新剛
• 申請（專利權(quán)）人: 西安理工大學(xué)
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B41/02;B24B37/005
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 杜娟

本實(shí)用新型公開了一種平面研磨精密定尺寸裝置，包括有平面研磨機(jī)床的Z軸滑座以及滑動安裝在Z軸滑座上的Z軸滑臺，Z軸滑臺的下端安裝有研磨頭，研磨頭的下方設(shè)置有工作臺，在Z軸滑座上固定有定尺寸調(diào)整機(jī)構(gòu)，定尺寸調(diào)整機(jī)構(gòu)上固定安裝有定尺寸控制裝置，定尺寸控制裝置還與Z軸滑臺固定連接。本實(shí)用新型一種平面研磨精密定尺寸裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的平面研磨批量生產(chǎn)效率底的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于機(jī)械加工平面研磨設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種平面研磨精密定尺寸裝置。

背景技術(shù)

平面研磨質(zhì)量主要包括幾何方面和物理方面兩部分，其中幾何方面偏差可分為：(1)幾何尺寸偏差，即平面研磨工件的厚度偏差；(2)幾何形狀偏差，主要是指表面粗糙度、波紋度及微觀形貌等。物理方面主要包括塑性變形、加工硬化、相變、殘余應(yīng)力、晶間腐蝕和選擇性腐蝕等方面內(nèi)容。

在機(jī)械加工中，通常按加工精度劃分為常規(guī)加工、精密加工及超精密加工。目前將加工尺寸精度在0.1～1μm、表面粗糙度Ra在0.01～0.1μm之間的加工方法稱為精密加工。

平面研磨是平面精密加工的重要加工方法，工件的厚度偏差是平面研磨質(zhì)量的關(guān)鍵指標(biāo)，一般是采用停機(jī)檢測方法來監(jiān)測工件的厚度偏差，對批量生產(chǎn)而言，效率低，且精度一致性不易保證。因此批量生產(chǎn)的精密平面研磨工件厚度偏差的定尺寸控制是高效、精密研磨的發(fā)展方向。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種平面研磨精密定尺寸裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的平面研磨批量生產(chǎn)效率底的問題。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是，一種平面研磨精密定尺寸裝置，包括有平面研磨機(jī)床的Z軸滑座以及滑動安裝在Z軸滑座上的Z軸滑臺，Z軸滑臺的下端安裝有研磨頭，研磨頭的下方設(shè)置有工作臺，在Z軸滑座上固定有定尺寸調(diào)整機(jī)構(gòu)，定尺寸調(diào)整機(jī)構(gòu)上固定安裝有定尺寸控制裝置，定尺寸控制裝置還與Z軸滑臺固定連接。

本實(shí)用新型的特征還在于，

定尺寸調(diào)整機(jī)構(gòu)采用小型直線移動組件，包括固定在Z軸滑座上的小滑座，小滑臺通過小導(dǎo)軌和小絲杠與小滑座連接，且小滑臺的滑動方向與Z軸滑臺的運(yùn)動方向平行，小絲杠的下端穿過小滑座并連接有鎖緊螺母。

定尺寸控制裝置包括固定在小滑臺上的支架，支架的上表面固定安裝有非接觸位移傳感器和防撞開關(guān)，非接觸位移傳感器的測頭方向與Z軸滑臺的運(yùn)動方向平行，定尺寸控制裝置還包括固定安裝在Z軸滑臺上的反射板，反射板位于非接觸位移傳感器和防撞開關(guān)的正上方。

被研磨工件固定在工作臺上。

當(dāng)平面研磨機(jī)床在Z軸行程位移零位時，即就是，Z軸滑臺位于Z軸滑座的最上方時，記研磨頭下表面至工作臺上表面的距離為H₀，研磨頭下表面至被研磨工件上表面的距離為L₀，被研磨工件的厚度尺寸要求為h，則H₀＝L₀+h，當(dāng)Z軸滑臺位于Z軸滑座的最上方時且小滑臺位于小滑臺行程的最上方時，非接觸位移傳感器測頭上表面至反射板下表面的調(diào)整距離記為δ'，δ'＝δ_max/2，δ_max為非接觸位移傳感器量程上限，防撞開關(guān)的高度高于非接觸位移傳感器測頭，且防撞開關(guān)的上表面與非接觸位移傳感器測頭的上表面的高度差為Δ，0<Δ<δ_max/2。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型的平面研磨精密定尺寸裝置，采用非接觸位移傳感器進(jìn)行研磨工件厚度尺寸控制，研磨精度高，例如采用精密渦流移傳感器作為非接觸位移傳感器，其量程為0～1mm，分辨率為0.01μm，檢測精度可到達(dá)0.1μm，可滿足0.1～1μm的精密研磨加工要求；自動實(shí)現(xiàn)定尺寸控制，效率高；具有定尺寸調(diào)整機(jī)構(gòu)，可方便地適用于不同研磨工件厚度尺寸的控制，應(yīng)用范圍廣。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型平面研磨機(jī)床的結(jié)構(gòu)示意圖；