[實用新型]一種平面研磨精密定尺寸裝置有效
| 申請號: | 201821551136.1 | 申請日: | 2018-09-21 |
| 公開(公告)號: | CN208895848U | 公開(公告)日: | 2019-05-24 |
| 發明(設計)人: | 黃玉美;馮小春;王妮娜;李耀;喬森;馬玉山;楊新剛 | 申請(專利權)人: | 西安理工大學 |
| 主分類號: | B24B37/10 | 分類號: | B24B37/10;B24B41/02;B24B37/005 |
| 代理公司: | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人: | 杜娟 |
| 地址: | 710048*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 平面研磨 定尺寸裝置 精密 尺寸調整機構 尺寸控制裝置 本實用新型 研磨頭 滑動安裝 生產效率 工作臺 下端 機床 | ||
1.一種平面研磨精密定尺寸裝置,包括有平面研磨機床的Z軸滑座(2)以及滑動安裝在Z軸滑座(2)上的Z軸滑臺(1),所述Z軸滑臺(1)的下端安裝有研磨頭(3),所述研磨頭(3)的下方設置有工作臺(4),其特征在于,所述在Z軸滑座(2)上固定有定尺寸調整機構(5),所述定尺寸調整機構(5)上固定安裝有定尺寸控制裝置(6),所述定尺寸控制裝置(6)還與所述Z軸滑臺(1)固定連接。
2.根據權利要求1所述的一種平面研磨精密定尺寸裝置,其特征在于,所述定尺寸調整機構(5)采用小型直線移動組件,包括固定在Z軸滑座(2)上的小滑座(5-4),所述小滑座(5-4)通過小導軌(5-2)和小絲杠(5-1)與小滑臺(5-3)連接,且小滑臺(5-3)的滑動方向與Z軸滑臺(1)的運動方向平行,所述小絲杠(5-1)的下端穿過所述小滑座(5-4)并連接有鎖緊螺母(5-5)。
3.根據權利要求2所述的一種平面研磨精密定尺寸裝置,其特征在于,所述定尺寸控制裝置(6)包括固定在所述小滑臺(5-3)上的支架(6-2),所述支架(6-2)的上表面固定安裝有非接觸位移傳感器(6-1)和防撞開關(6-3),所述非接觸位移傳感器(6-1)的測頭方向與Z軸滑臺(1)的運動方向平行,定尺寸控制裝置(6)還包括固定安裝在Z軸滑臺(1)上的反射板(6-4),所述反射板(6-4)位于所述非接觸位移傳感器(6-1)和防撞開關(6-3)的正上方。
4.根據權利要求3所述的一種平面研磨精密定尺寸裝置,其特征在于,所述被研磨工件(7)固定在所述工作臺(4)上。
5.根據權利要求4所述的一種平面研磨精密定尺寸裝置,其特征在于,當平面研磨機床在Z軸行程位移零位時,即就是,Z軸滑臺(1)位于Z軸滑座(2)的最上方時,記所述研磨頭(3)下表面至工作臺(4)上表面的距離為H0,所述研磨頭(3)下表面至被研磨工件(7)上表面的距離為L0,被研磨工件(7)的厚度尺寸要求為h,則H0=L0+h,當Z軸滑臺(1)位于Z軸滑座(2)的最上方時且小滑臺(5-3)位于小滑座(5-4)的最上方時,非接觸位移傳感器(6-1)測頭上表面至反射板(6-4)下表面的調整距離記為δ',δ'=δmax/2,δmax為非接觸位移傳感器(6-1)量程上限,所述防撞開關(6-3)的高度高于非接觸位移傳感器(6-1),且所述防撞開關(6-3)的上表面與所述非接觸位移傳感器(6-1)測頭的上表面的高度差為Δ,0<Δ<δmax/2。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于西安理工大學,未經西安理工大學許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821551136.1/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:研磨教示裝置
- 下一篇:一種CMP拋光設備用拋光墊





