[實用新型]一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器

有效

• 申請號: 201821545538.0
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN209033881U
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 盧運增;賀賢漢;吉遠君
• 申請（專利權）人: 上海申和熱磁電子有限公司;杭州中芯晶圓半導體股份有限公司
• 主分類號: B01D29/35
• 分類號: B01D29/35;B01D29/58
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司 31203
• 代理人: 顧蘭芳

本實用新型涉及半導體加工技術領域。一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，包括砂漿過濾器，砂漿過濾器包括罐體以及頂蓋，罐體的上方開設有進料口，罐體的底部開設有出料口，罐體內安裝有過濾機構，過濾機構包括圓環狀支撐板、尼龍濾網以及金屬濾網，尼龍濾網與金屬濾網的上端均與支撐板相連；砂漿過濾器還包括安裝機構，安裝機構包括彈簧、壓桿，彈簧的下端與支撐板的中央相連；彈簧的上端連接有壓桿，罐體的內壁的相對側設有插接件，插接件上開設有與壓桿端部相匹配的插口。本專利通過優化砂漿過濾器的結構，便于實現過濾機構的可拆卸。

技術領域

本實用新型涉及半導體加工技術領域，具體涉及砂漿過濾器。

背景技術

砂漿過濾器是用于進行砂漿過濾的裝置。

砂漿是由切削液和GC粉按一定比例調和而成，因考慮到成本問題，所以目前業內砂漿液都是循環利用的，經過砂漿回收系統后將有用的砥礪回收，重復利用，這個過程中因切割晶棒會有不同大小的Si粉、雜質、大顆粒等會進入到砂漿回收系統中，影響了砂漿的切削能力，會造成以下幾方面的影響與風險：砂漿中存有大顆粒容易造成斷線，影響硅片面狀態，造成良率，且容易導致降低了砂漿的切削能力，容易造成翹曲、線痕。

目前通過砂漿過濾器的過濾效果對砂漿過濾從而保證切割效果，現有的砂漿過濾器內的過濾機構的安裝機構操作不便，不便于對過濾機構的更換以及維修，不利于保證生產效率。

實用新型內容

針對現有技術存在的問題，本實用新型提供一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，以解決上述至少一個技術問題。

2、本實用新型的技術方案是：一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，包括一砂漿過濾器，所述砂漿過濾器包括上方開口的罐體以及頂蓋圍成的過濾腔，所述罐體的上方開設有一進料口，所述罐體的底部開設有一出料口，所述罐體內安裝有一過濾機構，所述過濾機構設置在所述進料口與所述出料口之間，其特征在于，所述過濾機構包括支撐板、尼龍濾網以及設置在尼龍濾網外圍金屬濾網；所述支撐板上開設有開口，以所述支撐板的開口為過濾機構的進口，所述支撐板的外圍與所述罐體的內壁之間設有一密封結構，所述尼龍濾網與所述金屬濾網的上端均與支撐板相連；

所述砂漿過濾器還包括一安裝機構，所述安裝機構包括彈簧以及壓桿，所述彈簧的下端與所述支撐板的中央相連；

所述彈簧的上端連接有所述壓桿，所述罐體的內壁的相對側設有一用于插入壓桿兩端的插接件，所述插接件上開設有與所述壓桿端部相匹配的插口。

本專利通過優化砂漿過濾器的結構，便于實現過濾機構的可拆卸，便于保證過濾效果，砂漿經進料口后依次途徑尼龍濾網與金屬濾網后從出料口導出。針對于不同的過濾需求，更換不同的過濾機構。進而降低線切割加工過程斷線率，保證切割效果。壓桿從下至上插入插口。

過濾機構的安裝步驟為首先將過濾機構放入罐體內，然后通過壓桿下壓彈簧，并將壓桿的兩端插入插接件上，實現壓桿的固定，進而實現過濾機構的固定。

過濾機構的拆除步驟為首先通過旋轉壓桿，進而實現壓桿從插接件上脫離，然后將過濾機構從罐體中拉出。

所述支撐板包括一環狀體以及條狀的連接片，所述連接片的兩端分別與環狀體的徑向兩端部固定連接，以連接片與環狀體之間的間隙為支撐板上的開口。

所述密封結構包括一限制過濾機構下移的限位突起，所述限位突起設置在所述罐體的內壁，所述限位突起的上端與所述支撐板的下表面相抵；

所述密封結構還包括一密封圈，所述密封圈設置在所述限位突起的上方。

通過密封結構，防止砂漿從支撐板與所述罐體內壁之間流出。

所述尼龍濾網為上端開口的袋狀結構，所述尼龍濾網的開口端固定有一彈性圈體，所述支撐板的內側設有用于套入彈性圈體的翻邊；