[實用新型]一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器

有效

• 申請號: 201821545538.0
• 申請日: 2018-09-21
• 公開（公告）號: CN209033881U
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 盧運增;賀賢漢;吉遠君
• 申請（專利權）人: 上海申和熱磁電子有限公司;杭州中芯晶圓半導體股份有限公司
• 主分類號: B01D29/35
• 分類號: B01D29/35;B01D29/58
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司 31203
• 代理人: 顧蘭芳

1.一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，包括一砂漿過濾器，所述砂漿過濾器包括上方開口的罐體以及頂蓋圍成的過濾腔，所述罐體的上方開設有一進料口，所述罐體的底部開設有一出料口，所述罐體內安裝有一過濾機構，所述過濾機構設置在所述進料口與所述出料口之間，其特征在于，所述過濾機構包括支撐板、尼龍濾網以及設置在尼龍濾網外圍金屬濾網；所述支撐板上開設有開口，以所述支撐板的開口為過濾機構的進口，所述支撐板的外圍與所述罐體的內壁之間設有一密封結構，所述尼龍濾網與所述金屬濾網的上端均與支撐板相連；

所述砂漿過濾器還包括一安裝機構，所述安裝機構包括彈簧以及壓桿，所述彈簧的下端與所述支撐板的中央相連；

所述彈簧的上端連接有所述壓桿，所述罐體的內壁的相對側設有一用于插入壓桿兩端的插接件，所述插接件上開設有與所述壓桿端部相匹配的插口。

2.根據權利要求1所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述密封結構包括一限制過濾機構下移的限位突起，所述限位突起設置在所述罐體的內壁，所述限位突起的上端與所述支撐板的下表面相抵；

所述密封結構還包括一密封圈，所述密封圈設置在所述限位突起的上方。

3.根據權利要求1所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述尼龍濾網為上端開口的袋狀結構，所述尼龍濾網的開口端固定有一彈性圈體，所述支撐板的內側設有用于套入彈性圈體的翻邊；

所述金屬濾網為上端開口的金屬罩體，所述金屬罩體上開設有網孔，所述金屬罩體的上端與所述支撐板焊接相連。

4.根據權利要求3所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述頂蓋上安裝有一用于檢測過濾腔內的氣壓的氣壓檢測裝置。

5.根據權利要求1所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述頂蓋上還開設有一進氣口，所述進氣口安裝有一閥門。

6.根據權利要求1所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述罐體的外壁上固定有支撐腳。

7.根據權利要求1所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述砂漿過濾器的出料口與切片室的砂漿進口導通。

8.根據權利要求1所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述罐體的外圍安裝有一夾套式換熱器。

9.根據權利要求1所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述彈簧的斷面為矩形。

10.根據權利要求1所述的一種降低線切割加工過程斷線率的砂漿過濾器，其特征在于：所述支撐板包括一環狀體以及條狀的連接片，所述連接片的兩端分別與環狀體的徑向兩端部固定連接，以連接片與環狀體之間的間隙為支撐板上的開口。