[實(shí)用新型]一種柔性IGZO薄膜晶體管

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821543910.4
• 申請(qǐng)日: 2018-09-20
• 公開（公告）號(hào): CN209045571U
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾志遠(yuǎn);鐘祥桂;羅敬凱;張沈鈞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 福建華佳彩有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/786
• 分類號(hào): H01L29/786;H01L29/49
• 代理公司: 福州市博深專利事務(wù)所(普通合伙) 35214
• 代理人: 林志崢

本實(shí)用新型涉及晶體管技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性IGZO薄膜晶體管，包括玻璃層、第一金屬層、第一絕緣層、半導(dǎo)體層、第二絕緣層、第二金屬層、第三絕緣層和第三金屬層；通過在面板內(nèi)的柵極區(qū)域增加第三金屬層作為TFT器件的頂柵，替代現(xiàn)有技術(shù)中單柵極TFT結(jié)構(gòu)器件，將第三金屬層按第一鉑層、鈦層、第二鉑層和金層依次層疊而成；這樣能夠有效提高膜晶體管的可靠度，使得液晶屏幕的顯示更為精確且穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體管技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種柔性IGZO薄膜晶體管。

背景技術(shù)

隨著顯示科技的進(jìn)步，薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)由于具有輕、薄、低輻射以及體積小而不占空間的優(yōu)勢(shì)，目前已成為顯示器市場(chǎng)的主力產(chǎn)品，為應(yīng)液晶顯示產(chǎn)品的快速發(fā)展，液晶面板廠商的產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)日增。如何提升薄膜晶體管的效能、可靠性與降低制作成本，皆為重要的發(fā)展目標(biāo)。

雙柵極結(jié)構(gòu)TFT器件相較于傳統(tǒng)單柵極結(jié)構(gòu)TFT器件表現(xiàn)出更好的電學(xué)穩(wěn)定性和更強(qiáng)的柵控能力，然而，目前的雙柵極結(jié)構(gòu)TFT器件結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，以及制備方法需要增加制程工藝復(fù)雜度，因而會(huì)大大降低產(chǎn)品品質(zhì)，不利于廣泛應(yīng)用。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種柔性IGZO薄膜晶體，在不增加制程成本的情況下有效提高薄膜晶體管的可靠度，使得液晶屏幕的顯示更為精確且穩(wěn)定。

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：

一種柔性IGZO薄膜晶體管，包括玻璃層、第一金屬層、第一絕緣層、半導(dǎo)體層、第二絕緣層、第二金屬層、第三絕緣層和第三金屬層；

所述第一金屬層、第一絕緣層、半導(dǎo)體層和第二絕緣層依次設(shè)置在玻璃層表面，所述第二絕緣層上設(shè)有兩個(gè)的第一過孔，所述第二金屬層填充于所述第一過孔中且與半導(dǎo)體層接觸，所述第三絕緣層一側(cè)面分別與第二金屬層遠(yuǎn)離玻璃層的一側(cè)面以及第二絕緣層遠(yuǎn)離玻璃層的一側(cè)面接觸，所述第三金屬層與所述第三絕緣層另一側(cè)面接觸；

所述第三金屬層為層狀結(jié)構(gòu)且由第一鉑層、鈦層、第二鉑層和金層依次層疊而成，所述第一鉑層與所述第三絕緣層另一側(cè)面接觸。

進(jìn)一步的，所述第一鉑層、鈦層和第二鉑層的厚度均為0.02-0.04μm，所述金層的厚度為0.5-0.8μm。

進(jìn)一步的，所述第一鉑層的厚度為0.03μm，所述鈦層的厚度為0.036μm，所述第二鉑層的厚度為0.03μm，所述金層的厚度為0.765μm。

進(jìn)一步的，所述第一鉑層、鈦層、第二鉑層和金層的厚度比為1:1.2:1:25.5。

進(jìn)一步的，所述半導(dǎo)體層的氧化物介質(zhì)為IGZO。

進(jìn)一步的，在柔性IGZO薄膜晶體管的豎直方向上，所述第一過孔對(duì)應(yīng)半導(dǎo)體層位置設(shè)置。

本實(shí)用新型的有益效果在于：通過在面板內(nèi)的柵極區(qū)域增加第三金屬層作為TFT器件的頂柵，替代現(xiàn)有技術(shù)中單柵極TFT結(jié)構(gòu)器件，將第三金屬層按第一鉑層、鈦層、第二鉑層和金層依次層疊而成；這樣能夠有效提高薄膜晶體管的可靠度，使得液晶屏幕的顯示更為精確且穩(wěn)定。

附圖說明

圖1所示為根據(jù)本實(shí)用新型的一種柔性IGZO薄膜晶體管的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2所示為根據(jù)本實(shí)用新型的一種柔性IGZO薄膜晶體管的圖1中A區(qū)局部放大示意圖；

標(biāo)號(hào)說明：

1、玻璃層；2、第一金屬層；3、第一絕緣層；4、半導(dǎo)體層；5、第二絕緣層；6、第二金屬層；7、第三絕緣層；8、第三金屬層；9、第一鉑層；10、鈦層；11、第二鉑層；12、金層。

具體實(shí)施方式