[實用新型]一種柔性IGZO薄膜晶體管有效
| 申請號： | 201821543910.4 | 申請日： | 2018-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN209045571U | 公開（公告）日： | 2019-06-28 |
| 發明（設計）人： | 曾志遠;鐘祥桂;羅敬凱;張沈鈞 | 申請（專利權）人： | 福建華佳彩有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L29/49 |
| 代理公司： | 福州市博深專利事務所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 林志崢 |
| 地址： | 351100 福*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 絕緣層 金屬層 薄膜晶體管 鉑層 本實用新型 第二金屬層 第一金屬層 晶體管技術 半導體層 結構器件 液晶屏幕 依次層疊 柵極區域 玻璃層 單柵極 可靠度 晶體管 頂柵 金層 鈦層 替代 | ||
1.一種柔性IGZO薄膜晶體管，其特征在于，包括玻璃層、第一金屬層、第一絕緣層、半導體層、第二絕緣層、第二金屬層、第三絕緣層和第三金屬層；
所述第一金屬層、第一絕緣層、半導體層和第二絕緣層依次設置在玻璃層表面，所述第二絕緣層上設有兩個的第一過孔，所述第二金屬層填充于所述第一過孔中且與半導體層接觸，所述第三絕緣層一側面分別與第二金屬層遠離玻璃層的一側面以及第二絕緣層遠離玻璃層的一側面接觸，所述第三金屬層與所述第三絕緣層另一側面接觸；
所述第三金屬層為層狀結構且由第一鉑層、鈦層、第二鉑層和金層依次層疊而成，所述第一鉑層與所述第三絕緣層另一側面接觸。
2.根據權利要求1所述的柔性IGZO薄膜晶體管，其特征在于，所述第一鉑層、鈦層和第二鉑層的厚度均為0.02-0.04μm，所述金層的厚度為0.5-0.8μm。
3.根據權利要求2所述的柔性IGZO薄膜晶體管，其特征在于，所述第一鉑層的厚度為0.03μm，所述鈦層的厚度為0.036μm，所述第二鉑層的厚度為0.03μm，所述金層的厚度為0.765μm。
4.根據權利要求2所述的柔性IGZO薄膜晶體管，其特征在于，所述第一鉑層、鈦層、第二鉑層和金層的厚度比為1:1.2:1:25.5。
5.根據權利要求1所述的柔性IGZO薄膜晶體管，其特征在于，所述半導體層的氧化物介質為IGZO。
6.根據權利要求1所述的柔性IGZO薄膜晶體管，其特征在于，在柔性IGZO薄膜晶體管的豎直方向上，所述第一過孔對應半導體層位置設置。
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