[實用新型]一種晶圓烘箱自動門

有效

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• 申請日: 2018-09-19
• 公開（公告）號: CN208779908U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設計）人: 劉劍;侯華
• 申請（專利權）人: 成都先進功率半導體股份有限公司
• 主分類號: F26B25/12
• 分類號: F26B25/12
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 劉童笛

本實用新型涉及芯片生產(chǎn)技術領域，具體涉及一種晶圓烘箱自動門,包括門體、磁力鎖、推門氣缸和控制器，所述磁力鎖和推門氣缸分別與控制器相連，所述控制器能夠連接烘箱系統(tǒng)，且接受烘箱系統(tǒng)的電信號，從而控制所述磁力鎖和推門氣缸。該晶圓烘箱自動門，當烘箱烘烤程序結束時，控制器接收到烘烤結束的信息之后將磁力鎖斷開，并控制推門氣缸將門體推開，烘箱內(nèi)開始降溫，避免出現(xiàn)過烘的情況，大大的增加了產(chǎn)品的合格率。

技術領域

本實用新型涉及芯片生產(chǎn)技術領域，特別是一種晶圓烘箱自動門。

背景技術

單晶硅圓片由普通硅砂提煉，經(jīng)過溶解、提純、蒸餾一系列措施制得多晶硅，多晶硅再經(jīng)熔融、單晶晶核提拉制成具有一定晶體學取向的單晶硅棒，單晶硅棒經(jīng)過拋光、切片之后，就成為了晶圓。

晶圓是當前半導體組件的基礎半成品，在生產(chǎn)晶圓的過程中，時常需要將晶圓置入烘烤裝置，通過烘箱的適當溫度來將晶圓的光刻膠體等等，進行物理性或化學性的轉(zhuǎn)變，例如熱固化等等。

普通厭氧性烘箱設有烘箱系統(tǒng)，可預設置烘烤時間，控制烘箱內(nèi)升溫和烘烤風扇的轉(zhuǎn)動，烘烤結束時風扇停止轉(zhuǎn)動，烘箱系統(tǒng)起動報警裝置報警，工作人員發(fā)現(xiàn)烘箱報警后手動將烘箱門打開取出晶圓產(chǎn)品，但是該烘箱無主動降溫功能，自動降溫速度緩慢，烘烤的產(chǎn)品如果取出不及時會導致實際烘烤時間增加，從而導致產(chǎn)品質(zhì)量異常。

上述烘箱的烘箱門是機械門鎖，烘烤結束后必須手動將門打開。晶圓產(chǎn)品對烘烤時間的長短比較敏感，由于烘箱無主動降溫功能，在封閉空間內(nèi)降溫緩慢。

在實際操作中會出現(xiàn)如下情況：

1、烘箱報警后作業(yè)人員處理不及時，導致產(chǎn)品過烘；

2、烘箱報警后，被誤消除了報警，長時間才發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品未取出，導致產(chǎn)品嚴重過烘。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的發(fā)明目的在于：針對現(xiàn)有技術存在烘箱在烘烤結束后必須手動開門給晶圓產(chǎn)品降溫的問題，提供一種晶圓烘箱自動門，該晶圓烘箱自動門在烘烤結束后自動打開烘箱門給晶圓產(chǎn)品降溫，避免出現(xiàn)過烘的情況，大大的增加了產(chǎn)品的合格率。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種晶圓烘箱自動門，包括門體、磁力鎖、推門氣缸和控制器，所述磁力鎖和推門氣缸分別與控制器相連，所述控制器能夠連接烘箱系統(tǒng)，且接受烘箱系統(tǒng)的電信號，從而控制所述磁力鎖和推門氣缸。

該晶圓烘箱自動門，當烘箱烘烤程序結束時，控制器接收到烘烤結束的信息之后將磁力鎖斷開，并控制推門氣缸將門體推開，烘箱內(nèi)開始降溫，避免出現(xiàn)過烘的情況，大大的增加了產(chǎn)品的合格率。

作為本實用新型的優(yōu)選方案，所述烘箱自動門還設有開門按鈕，所述開門按鈕與控制器相連，使得開門按鈕能夠控制磁力鎖短時間斷開。在烘烤時需要先手動將烘箱門打開，放入晶圓產(chǎn)品烘烤，設置開門按鈕方便開門放入晶圓產(chǎn)品。

作為本實用新型的優(yōu)選方案，所述磁力鎖與控制器之間還連有繼電器，該繼電器用于控制磁力鎖電路的通斷。磁力鎖功率大，在磁力鎖與控制器之間連接繼電器，調(diào)節(jié)磁力鎖電流，可以避免控制器直接對磁力鎖供電，從而提高控制器的性能和壽命。

作為本實用新型的優(yōu)選方案，所述控制器還連有用于控制推門氣缸回退的行程開關。設置一個控制氣缸回退的裝置，當工作人員發(fā)現(xiàn)烘烤結束時，可控制氣缸回退，避免取產(chǎn)品時影響工作人員的操作和影響關閉烘箱門。

作為本實用新型的優(yōu)選方案，所述行程開關安裝于烘箱門框左下角，當烘箱門關閉時行程開關被壓住，當烘箱門打開到一定角度時行程開關被完全釋放，從而控制所述推門氣缸回退。當工作人員將烘箱門打開到一定角度后，行程開關被打開，控制器接收到形成開關的信號后將命令推門氣缸回退。