[實用新型]一種晶圓烘箱自動門有效
| 申請號： | 201821532718.5 | 申請日： | 2018-09-19 |
| 公開（公告）號： | CN208779908U | 公開（公告）日： | 2019-04-23 |
| 發明（設計）人： | 劉劍;侯華 | 申請（專利權）人： | 成都先進功率半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | F26B25/12 | 分類號： | F26B25/12 |
| 代理公司： | 四川力久律師事務所 51221 | 代理人： | 劉童笛 |
| 地址： | 611731 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 烘箱 推門氣缸 控制器 磁力鎖 自動門 烘箱系統 烘烤 種晶 本實用新型 程序結束 芯片生產 晶圓 門體 斷開 合格率 推開 | ||
1.一種晶圓烘箱自動門，其特征在于，包括門體、磁力鎖、推門氣缸和控制器，所述磁力鎖和推門氣缸分別與控制器相連，所述控制器能夠連接烘箱系統，且接受烘箱系統的電信號，從而控制所述磁力鎖和推門氣缸。
2.根據權利要求1所述的晶圓烘箱自動門，其特征在于，所述烘箱自動門還設有開門按鈕，所述開門按鈕與控制器相連，使得開門按鈕能夠控制磁力鎖短時間斷開。
3.根據權利要求1所述的晶圓烘箱自動門，其特征在于，所述磁力鎖與控制器之間還連有繼電器，該繼電器用于控制磁力鎖電路的通斷。
4.根據權利要求1所述的晶圓烘箱自動門，其特征在于，所述控制器還連有用于控制推門氣缸回退的行程開關。
5.根據權利要求4所述的晶圓烘箱自動門，其特征在于，所述行程開關安裝于烘箱門框左下角，當烘箱門關閉時行程開關被壓住，當烘箱門打開到一定角度時行程開關被完全釋放，從而控制所述推門氣缸回退。
6.根據權利要求1-5任一所述的晶圓烘箱自動門，其特征在于，所述烘箱自動門還設有拉門氣缸，該拉門氣缸用于將門體拉緊。
7.根據權利要求6所述的晶圓烘箱自動門，其特征在于，所述磁力鎖安裝于拉門氣缸末端。
8.根據權利要求1-5或7任一所述的晶圓烘箱自動門，其特征在于，所述推門氣缸末端設有導輪。
9.根據權利要求8所述的晶圓烘箱自動門，其特征在于，所述導輪為磁鐵，所述門體與推門氣缸對應位置設有鐵片。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于成都先進功率半導體股份有限公司，未經成都先進功率半導體股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821532718.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：帶式干燥機的物料翻料攤鋪裝置
- 下一篇：一種球團豎爐烘床
