[實用新型]一種手動酸洗旋轉(zhuǎn)治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821496783.7
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN208848859U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 羅剛;朱雪明;袁林鋒
• 申請（專利權(quán)）人: 北京亦盛精密半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京東方芊悅知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11591
• 代理人: 陳靳秋

本實用新型公開了一種手動酸洗旋轉(zhuǎn)治具，包括水箱箱體及固定工裝，固定工裝包括兩個酸洗框，兩個酸洗框之間垂直設(shè)有數(shù)個支撐桿，每個支撐桿的中部設(shè)有至少一個環(huán)形卡槽；兩個酸洗框外側(cè)分別設(shè)有支架，酸洗框外側(cè)分別通過轉(zhuǎn)動連接軸轉(zhuǎn)動連接于支架第一安裝孔內(nèi)；其中一個轉(zhuǎn)動連接軸上設(shè)有第一齒輪；箱體上設(shè)有第二安裝孔，內(nèi)設(shè)有傳動軸，傳動軸上設(shè)有第二齒輪，第二齒輪與第一齒輪齒合連接。綜上所述，通過手柄手搖齒輪轉(zhuǎn)動帶動產(chǎn)品轉(zhuǎn)動，使產(chǎn)品旋轉(zhuǎn)酸洗，產(chǎn)品受酸洗的程度一致使產(chǎn)品質(zhì)量更加理想化，而且不同深度壓力對酸洗程度都是有影響的。操作員不與酸洗液接觸，進一步保障了操作員安全，且手搖代替翻轉(zhuǎn)推拉，更加省勁，效率更高。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于半導(dǎo)體材料清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種手動酸洗旋轉(zhuǎn)治具。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機物和無機物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面，會導(dǎo)致各種缺陷。

硅產(chǎn)品酸洗的酸洗液主要性質(zhì)為強酸性、強腐蝕性和易揮發(fā)性，材料化學(xué)清洗中主要利用其強酸性和強腐蝕性來去除材料表面的雜質(zhì)沾污及對零件進行工藝腐蝕處理。現(xiàn)有的手動清洗裝置為平躺式手動移動工裝來清洗，而旋轉(zhuǎn)工裝則是通過齒輪旋轉(zhuǎn)帶動主軸轉(zhuǎn)動使零件旋轉(zhuǎn)從而達到零件表面與清洗液充分均勻接觸，保證工件達到工藝要求。對于像硅這種脆性材料而言，在酸洗操作過程中，對零件必須先固定牢，防止在旋轉(zhuǎn)過程中移位滑脫而導(dǎo)致零件損傷。

現(xiàn)有的手動酸洗對于小型硅片可通過鑷子夾取在酸洗槽中翻轉(zhuǎn)拖動來有效清洗，對于大型硅片則是通過工裝固定好后臥放酸洗槽中通過來回拖動工裝達到清洗零件目的。以上兩種工裝雖然可以使酸洗后的零件達到工藝要求，但是使用鑷子夾取零件時，存在危險因素，如操作人員夾取力度不夠，零件可能會從鑷子中滑落造成零件損傷；在翻轉(zhuǎn)零件時也可能會發(fā)生磕碰造成損傷，且在翻轉(zhuǎn)過程中無法保證零件與酸洗液均勻接觸，零件的翻轉(zhuǎn)帶動液體，可能會使液體從洗槽中飛濺出來，盡管操作員穿戴了防護服，但還是存在一定風(fēng)險。平臥式手動酸洗工裝也是如此，通過4根外圓帶有V型槽的支桿將零件固定住，在洗槽中手動推拉工裝也會使酸液飛濺，且操作過于費力，效率不高。

因此現(xiàn)有的酸洗治具有以下缺點：

1)傳統(tǒng)手動酸洗零件大都需要近距離接觸酸液，盡管操作員穿戴了防護裝備，但無法完全保障其自身安全；

2)使用鑷子夾取或臥推酸洗框架則十分吃力且無法保證零件的安全；

3)用鑷子夾取酸洗及臥推酸洗無法保證酸洗均勻性，小孔的圓整度達不到要求。

針對上述問題，提出本實用新型。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供一種手動酸洗旋轉(zhuǎn)治具。

為實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型的技術(shù)方案是：一種手動酸洗旋轉(zhuǎn)治具，包括水箱箱體13及固定工裝，其中：

固定工裝包括兩個酸洗框2，兩個酸洗框2平行、間隔設(shè)置，兩個酸洗框 2之間垂直設(shè)有數(shù)個支撐桿3，每個支撐桿3的兩個端部分別連接于兩個酸洗框2上；每個支撐桿3的中部的相應(yīng)位置處設(shè)有至少一個環(huán)形卡槽4；兩個酸洗框2外側(cè)分別設(shè)有支架1，每個支架1上設(shè)有第一安裝孔12，兩個所述酸洗框2外側(cè)分別通過兩個轉(zhuǎn)動連接軸8轉(zhuǎn)動連接于支架1第一安裝孔12內(nèi)，所述酸洗框2底部高于支架1底部；其中一個轉(zhuǎn)動連接軸8上設(shè)有第一齒輪7；

箱體13上設(shè)有第二安裝孔14，第二安裝孔14內(nèi)設(shè)有傳動軸，傳動軸的一端設(shè)于箱體13外側(cè)，另一端設(shè)有第二齒輪5，第二齒輪5與第一齒輪7齒合連接，轉(zhuǎn)動所述傳動軸以帶動酸洗框2在支架1內(nèi)豎直轉(zhuǎn)動。

其中，支撐桿3通過可拆卸鎖緊裝置鎖緊固定于酸洗框2上。