[實用新型]一種手動酸洗旋轉治具

有效

• 申請號: 201821496783.7
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN208848859U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 羅剛;朱雪明;袁林鋒
• 申請（專利權）人: 北京亦盛精密半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 北京東方芊悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11591
• 代理人: 陳靳秋

1.一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，包括水箱箱體(13)及固定工裝，其中：

所述固定工裝包括兩個酸洗框(2)，兩個所述酸洗框(2)平行、間隔設置，兩個所述酸洗框(2)之間垂直設有數個支撐桿(3)，每個所述支撐桿(3)的兩個端部分別連接于兩個酸洗框(2)上；每個所述支撐桿(3)的中部的相應位置處設有至少一個環形卡槽(4)；兩個所述酸洗框(2)外側分別設有支架(1)，每個所述支架(1)上設有第一安裝孔(12)，兩個所述酸洗框(2)外側分別通過兩個轉動連接軸(8)轉動連接于支架(1)第一安裝孔(12)內，所述酸洗框(2)底部高于支架(1)底部；其中一個所述轉動連接軸(8)上設有第一齒輪(7)；

所述箱體(13)上設有第二安裝孔(14)，所述第二安裝孔內設有傳動軸，所述傳動軸的一端設于箱體(13)外側，另一端設有第二齒輪(5)，所述第二齒輪(5)與第一齒輪(7)齒合連接，轉動所述傳動軸以帶動酸洗框(2)在支架(1)內豎直轉動。

2.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，所述支撐桿(3)的端部通過可拆卸鎖緊裝置鎖緊固定于酸洗框(2)上。

3.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，所述第一齒輪(7)與第二齒輪(5)之間通過第三齒輪(6)齒合連接，所述第一齒輪(7)，第二齒輪(5)及第三齒輪(6)分別從下往上排布。

4.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，所述支撐桿(3)數量至少三個。

5.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，所述環形卡槽(4)槽體橫截面為V型。

6.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，所述第一安裝孔(12)為斜槽，所述斜槽頂部與支架(1)頂部相通。

7.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，所述傳動軸設于箱體(13)外側的一端設有手柄(11)。

8.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，兩個所述支架(1)均為板狀支撐板，兩個所述支撐板外側分別可拆卸固定于箱體(13)相對的兩個內壁上。

9.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，所述酸洗框(2)上設有數個通孔(10)。

10.根據權利要求1所述的一種手動酸洗旋轉治具，其特征在于，所述固定工裝為PVDF耐腐蝕性材料。