[實用新型]一種防止光罩掉落毀損的裝置

有效

• 申請號: 201821495757.2
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN208780988U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 林金錫;許哲維
• 申請（專利權）人: 福建省福聯集成電路有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

1.一種防止光罩掉落毀損的裝置，其特征在于：包括光刻機豎直滑架、紅外傳感器、滑動機構、控制單元和承接件；

所述紅外傳感器設置在光刻機豎直滑架的中部，滑動機構設置在光刻機豎直滑架上，且滑動機構位于紅外傳感器的下方，紅外傳感器與控制單元電連接，承接件設置在滑動機構的輸出端上，控制單元與滑動機構電連接，承接件用于承接并防護掉落的光罩；滑動機構用于在光罩經過紅外傳感器的位置時將承接件垂直朝向光刻機豎直滑架的外部伸出。

2.根據權利要求1所述的一種防止光罩掉落毀損的裝置，其特征在于：所述滑動機構包括驅動單元、滑架和電磁開關，驅動單元設置在光刻機豎直滑架上，承接件設置在滑架的滑桿上，驅動單元位于紅外傳感器的下方，滑架垂直設置在光刻機豎直滑架上，且光刻機豎直滑架位于紅外傳感器與驅動單元之間，驅動單元的輸出軸設置在滑架的架體上，電磁開關設置在驅動單元的電源線上，控制單元與電磁開關電連接設置。

3.根據權利要求2所述的一種防止光罩掉落毀損的裝置，其特征在于：所述驅動單元為直線電機、氣泵或液壓泵。

4.根據權利要求2所述的一種防止光罩掉落毀損的裝置，其特征在于：所述滑動機構還包括蓄電池，所述蓄電池與驅動單元電連接，電磁開關電連接設置在蓄電池與驅動單元之間。

5.根據權利要求1所述的一種防止光罩掉落毀損的裝置，其特征在于：所述承接件為橡膠網、彈力布或棉墊板。

6.根據權利要求1所述的一種防止光罩掉落毀損的裝置，其特征在于：所述控制單元為單片機或PLC。