[實用新型]一種防止光罩掉落毀損的裝置

有效

• 申請號: 201821495757.2
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN208780988U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 林金錫;許哲維
• 申請（專利權）人: 福建省福聯集成電路有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 林祥翔;徐劍兵

本實用新型提一種防止光罩掉落毀損的裝置，包括光刻機豎直滑架、紅外傳感器、滑動機構、控制單元和承接件，在光刻機豎直滑架上安裝滑動機構和紅外傳感器，當光罩通過光刻機的豎直滑架時，會通過紅外傳感器感應器，進而啟動滑動機構，使得承接件跟隨滑動機構朝外伸展，因此可以有效安全的承接掉落的光罩，避免光罩毀損。同時通過控制單元內置的定時器，可以人工設定滑動機構伸出承接件的時長，當定時的時間達到時，則通過滑動機構縮回承接件，解決了光罩掉落毀損的問題。

技術領域

本實用新型涉及光刻機領域，尤其涉及一種防止光罩掉落毀損的裝置。

背景技術

Nikon i11D型號的步進式光刻機，其光罩傳送至交接處時，是通過抽真空的方式對光罩進行交接。若發生真空異常時，會使得光罩掉落并砸在光刻機的機臺內部，使得機臺內部部件被光罩砸損，同時光罩也會具有一定程度的毀損；同時光刻機的機臺在此時，也無法進行初始化安全的將光罩移動回光罩盒，因此只能人為確定安全的情形下，手動將光罩從交接處取出，并放回光罩盒中。

光罩的掉落會對機臺的生產造成各項影響，對于光罩也會形成結構性的破壞，以及造成步進式光刻機的機臺內部潔凈度的污染。光罩的毀損，不僅造成機臺無法運轉，增加了生產成本，而且還會影響設備穩定性及生產效能，使機臺運行陷入異常，影響產線的生產力。

實用新型內容

為此，需要提供一種防止光罩掉落毀損的裝置，解決光罩掉落毀損的問題。

為實現上述目的，發明人提供了一種防止光罩掉落毀損的裝置，包括光刻機豎直滑架、紅外傳感器、滑動機構、控制單元和承接件；所述紅外傳感器設置在光刻機豎直滑架的中部，滑動機構設置在光刻機豎直滑架上，且滑動機構位于紅外傳感器的下方，紅外傳感器與控制單元電連接，承接件設置在滑動機構的輸出端上，控制單元與滑動機構電連接，承接件用于承接并防護掉落的光罩；滑動機構用于在光罩經過紅外傳感器的位置時將承接件垂直朝向光刻機豎直滑架的外部伸出。

進一步地，所述滑動機構包括驅動單元、滑架和電磁開關，驅動單元設置在光刻機豎直滑架上，承接件設置在滑架的滑桿上，驅動單元位于紅外傳感器的下方，滑架垂直設置在光刻機豎直滑架上，且光刻機豎直滑架位于紅外傳感器與驅動單元之間，驅動單元的輸出軸設置在滑架的架體上，電磁開關設置在驅動單元的電源線上，控制單元與電磁開關電連接設置。

進一步地，所述驅動單元為直線電機、氣泵或液壓泵。

進一步地，所述滑動機構還包括蓄電池，所述蓄電池與驅動單元電連接，電磁開關電連接設置在蓄電池與驅動單元之間。

進一步地，所述承接件為橡膠網、彈力布或棉墊板。

進一步地，所述控制單元為單片機或PLC。

區別于現有技術，上述技術方案在光刻機豎直滑架上安裝滑動機構和紅外傳感器，當光罩通過光刻機的豎直滑架時，會通過紅外傳感器感應器，進而啟動滑動機構，使得承接件跟隨滑動機構朝外伸展，達到承接件位于光罩下方，同時承接件也會與光刻機豎直滑架相互垂直，且承接件的表面積會大于光罩，因此可以有效安全的承接掉落的光罩，避免光罩毀損。同時通過控制單元內置的定時器，可以人工設定滑動機構伸出承接件的時長，當定時的時間達到時，則通過滑動機構縮回承接件。具體的，人工設定的時長會大于在光罩通過紅外傳感器時起至光罩通過光刻機的交接處期間的時長再加上光罩掉落至承接件處的時長，繼而滑動機構將承接件回收，解決了光罩掉落毀損的問題。

附圖說明

圖1為具體實施方式所述的防止光罩掉落毀損的裝置的示意圖；

圖2為具體實施方式所述的防止光罩掉落毀損的裝置的局部剖視圖；

附圖標記說明：

1、光罩；

10、光刻機豎直滑架；11、紅外傳感器；