[實用新型]一種用于制造OLED面板的掩模有效
| 申請號： | 201821493620.3 | 申請日： | 2018-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN208815102U | 公開（公告）日： | 2019-05-03 |
| 發明（設計）人： | 謝自民;平財明;陳春明;唐曉婷 | 申請（專利權）人： | 蘇州藍沛光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 楊勝 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基板 掩模 制造 聚合物樹脂 可用性 膜形態 圖案孔 穿過 | ||
1.一種用于制造OLED面板的掩模，其特征在于，包括：
基板(10)；
涂層(20)，其設置在所述基板(10)的兩個表面中的至少一個上，且具有預定厚度；
圖案孔(30)，其穿過所述涂層(20)和基板(10)而形成；
其中，所述基板(10)為膜形態的聚合物樹脂。
2.根據權利要求1所述的用于制造OLED面板的掩模，其特征在于，所述涂層(20)為樹脂或金屬。
3.根據權利要求1或2所述的用于制造OLED面板的掩模，其特征在于，所述涂層(20)包括：
第一涂層(21)，其為樹脂；
第二涂層(22)，其形成在所述第一涂層(21)的表面上且為金屬。
4.根據權利要求1所述的用于制造OLED面板的掩模，其特征在于，所述基板(10)為PET、PC、CPP、PEN、PMMA、TAC或PI中的一種。
5.根據權利要求1所述的用于制造OLED面板的掩模，其特征在于，所述圖案孔(30)的內壁形成有斜面(31)和豎直面(32)。
6.根據權利要求1所述的用于制造OLED面板的掩模，其特征在于，所述圖案孔(30)的內壁形成有曲面(33)和豎直面(32)。
7.根據權利要求6所述的用于制造OLED面板的掩模，其特征在于，所述曲面(33)的高度H1占掩模整體厚度H2的52-56％。
8.根據權利要求6所述的用于制造OLED面板的掩模，其特征在于，所述曲面(33)的剖面兩端的寬度L1是所述圖案孔(30)豎直面(32)的寬度L2的1.3-1.4倍。
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