[實用新型]一種用于制造OLED面板的掩模

有效

• 申請號: 201821493620.3
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN208815102U
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 謝自民;平財明;陳春明;唐曉婷
• 申請（專利權）人: 蘇州藍沛光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369
• 代理人: 楊勝

本案涉及一種用于制造OLED面板的掩模，包括：基板；涂層，其設置在所述基板的兩個表面中的至少一個上，且具有預定厚度；圖案孔，其穿過所述涂層和基板而形成；其中，所述基板為膜形態的聚合物樹脂。因此，可以改善用于制造OLED面板的掩模的功能和可用性。

技術領域

本實用新型涉及一種掩模，特別涉及一種用于制造OLED面板的掩模。

背景技術

通常，有機發光二極管(OLED)是指自發光有機材料，其通過使用當向熒光有機化合物供應電流時發光的電致發光現象來發光。這些OLED相比于 LCD，以較好的圖像質量和簡單的制造工藝而需求越來越多。

在現有工藝中，FMM(Fine Metal Mask精細金屬掩模)或SM(Shadow Mask陰影掩模)已廣泛用于OLED面板掩模。而傳統的OLED面板掩模具有如下結構：以一定厚度涂覆光致抗蝕劑PR的基板上，進行蝕刻作業以形成預定圖案的圖案孔。上述基板一般由諸如INVAR、SUS等金屬材料制成，具有低的熱膨脹系數。

然而，由于具有上述結構的用于OLED面板的掩模中基板由金屬材料制成，因此其制造時間長且昂貴，并且由于金屬的重量較重而容易發生彎曲。目前，對于小尺寸面板中使用的基板，其在使用后可通過清潔后再循環使用。但是對于大型面板中使用的基板，在生產和清潔處理的過程中極易產生損壞，因此很難通過清潔再循環利用。此外，執行曲面作業相對困難和復雜，如果超過一定的曲面值，則在實際上容易發生變形和破損。另外，由于金屬材質的掩模基板與被粘物表面的粘附力(密封力)低，因此會被污染源污染。

綜上，導致了現有的用于OLED面板的掩模的功能和可用性降低。

實用新型內容

針對現有技術中的不足之處，本實用新型提供了一種用于OLED面板的掩模，通過對現有掩模結構的改進，以期可以相對改善用于OLED面板的掩模的功能和可用性。

為實現上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種用于制造OLED面板的掩模，其包括：

基板；

涂層，其設置在所述基板的兩個表面中的至少一個上，且具有預定厚度；

圖案孔，其穿過所述涂層和基板而形成；

其中，所述基板為膜形態的聚合物樹脂。

優選的是，所述的用于制造OLED面板的掩模，其中，所述涂層為樹脂或金屬。

優選的是，所述的用于制造OLED面板的掩模，其中，所述涂層包括：

第一涂層，其為樹脂；

第二涂層，其形成在所述第一涂層的表面上且為金屬。

優選的是，所述的用于制造OLED面板的掩模，其中，所述基板為PET (聚對苯二甲酸乙二醇酯)、PC(聚碳酸酯)、CPP(流延聚丙烯薄膜)、PEN (聚萘二甲酸乙二醇酯)、PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、TAC(三醋酸纖維素)或PI(聚酰亞胺)中的一種。

優選的是，所述的用于制造OLED面板的掩模，其中，所述圖案孔的內壁形成有斜面和豎直面。

優選的是，所述的用于制造OLED面板的掩模，其中，所述圖案孔的內壁形成有曲面和豎直面。

優選的是，所述的用于制造OLED面板的掩模，其中，所述曲面的高度占掩模整體厚度的52-56％。

優選的是，所述的用于制造OLED面板的掩模，其中，所述曲面的剖面兩端的寬度是所述圖案孔豎直面的寬度的1.3-1.4倍。

本實用新型的有益效果是：