[實用新型]真空腔充氣組件

有效

• 申請號: 201821488833.7
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN208949394U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 林繼柱
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 趙永輝

1.一種真空腔充氣組件(100)，用于向真空腔體(200)定義的真空腔(210)內充氣，其特征在于，包括：

充氣組件(110)，設置于所述真空腔體(200)，用于向所述真空腔(210)內部注入氣體；以及

與所述充氣組件(110)密閉連通的充氣緩沖管(120)，設置于所述真空腔(210)內，所述充氣緩沖管(120)包括管狀腔體(121)，所述管狀腔體(121)外表面開設有多個勻氣通孔組合(122)，所述勻氣通孔組合(122)與所述管狀腔體(121)連通。

2.根據權利要求1所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述充氣緩沖管(120)的形狀為一字型、L型或者U型。

3.根據權利要求1所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述管狀腔體(121)包圍形成一個氣體緩沖腔(123)，所述氣體緩沖腔(123)與所述充氣組件(110)密閉連通。

4.根據權利要求1所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，還包括腔體充氣管(130)，設置于所述真空腔體(200)，并與所述管狀腔體(121)密閉連通，所述充氣組件(110)通過所述腔體充氣管(130)與所述管狀腔體(121)密閉連通。

5.根據權利要求4所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述充氣組件(110)為充氣控制角閥，與所述腔體充氣管(130)法蘭連接。

6.根據權利要求4所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述真空腔體(200)開設有安裝通孔(220)，所述腔體充氣管(130)插入所述安裝通孔(220)，并與所述真空腔體(200)密閉連接。

7.根據權利要求6所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述充氣緩沖管(120)還包括安裝法蘭(124)，密閉連接于與所述安裝通孔(220)，并將所述管狀腔體(121)與所述腔體充氣管(130)密閉連接。

8.根據權利要求7所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述安裝法蘭(124)焊接于所述充氣緩沖管(120)。

9.根據權利要求7所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述勻氣通孔組合(122)包括兩個勻氣通孔(1221)，兩個所述勻氣通孔(1221)的連線與所述管狀腔體(121)的軸線相交，且兩個所述勻氣通孔(1221)的連線和所述管狀腔體(121)的軸線確定的平面與所述安裝法蘭(124)的軸線垂直。

10.根據權利要求1所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述充氣緩沖管(120)沿所述真空腔體(200)內壁延伸設置。

11.根據權利要求1所述的真空腔充氣組件(100)，其特征在于，所述勻氣通孔組合(122)沿所述管狀腔體(121)的延伸方向設置。