[實(shí)用新型]一種檢測(cè)長(zhǎng)焦大離軸量離軸拋物面鏡的光學(xué)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821484380.0
• 申請(qǐng)日: 2018-09-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208736353U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡建軍;潘君驊;錢(qián)煜;王偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州如期光電科技有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02;G01B11/26;G01M11/00
• 代理公司: 蘇州智品專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32345
• 代理人: 王利斌

1.一種檢測(cè)長(zhǎng)焦大離軸量離軸拋物面鏡的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：該光學(xué)系統(tǒng)包括沿著干涉儀發(fā)出的光波傳播方向依次排布的：發(fā)散鏡頭、標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡、用于放置待測(cè)長(zhǎng)焦大離軸量離軸拋物面鏡的調(diào)整架、標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡；

所述的發(fā)散鏡頭將干涉儀發(fā)出的光波調(diào)制成發(fā)散的球面波，發(fā)散的球面波經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡反射入射至待測(cè)長(zhǎng)焦大離軸量離軸拋物面鏡，經(jīng)待測(cè)長(zhǎng)焦大離軸量離軸拋物面鏡反射后的光波為平面波，所述平面波垂直入射至標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡后原路返回；所述的標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡與待測(cè)長(zhǎng)焦大離軸量離軸拋物面鏡組成偏軸兩鏡系統(tǒng)，且所述發(fā)散鏡頭虛焦點(diǎn)和偏軸兩鏡系統(tǒng)的像點(diǎn)重合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)長(zhǎng)焦大離軸量離軸拋物面鏡的光學(xué)系統(tǒng)，其特征在于：所述的調(diào)整架為多維調(diào)整架，所述的標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡以及所述的標(biāo)準(zhǔn)平面反射鏡表面鍍有増反膜。