[實(shí)用新型]一種用于含扁引腳混合集成電路外殼的高水平度燒結(jié)模具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821482656.1 | 申請(qǐng)日: | 2018-09-11 |
| 公開(公告)號(hào): | CN208706578U | 公開(公告)日: | 2019-04-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊世亮 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 上海科發(fā)電子產(chǎn)品有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/48 | 分類號(hào): | H01L21/48 |
| 代理公司: | 上海科盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225 | 代理人: | 吳文濱 |
| 地址: | 201802 上海市嘉定*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 混合集成電路 引腳 膨脹補(bǔ)償 模具托盤 定位腔 本實(shí)用新型 組合式模具 燒結(jié)模具 適配 壓塊 豎直方向移動(dòng) 高溫?zé)崤蛎?/a> 金絲鍵合 水平狀態(tài) 最大偏移 腔室 配合 保證 | ||
1.一種用于含扁引腳混合集成電路外殼的高水平度燒結(jié)模具,所述的混合集成電路外殼包括外殼(1)、多個(gè)并列插設(shè)在外殼(1)一端的扁引腳(2)以及設(shè)置在扁引腳(2)與外殼(1)之間的玻璃絕緣子(3),所述的外殼(1)上開設(shè)有腔室(4),所述的扁引腳(2)的一端位于腔室(4)內(nèi),其特征在于,所述的燒結(jié)模具包括模具托盤(5)以及設(shè)置在模具托盤(5)上的組合式模具塊,所述的模具托盤(5)上開設(shè)有混合集成電路外殼定位腔,所述的組合式模具塊包括設(shè)置在混合集成電路外殼定位腔內(nèi)并分別與外殼(1)相鄰兩側(cè)面相適配的第一膨脹補(bǔ)償機(jī)構(gòu)及第二膨脹補(bǔ)償機(jī)構(gòu)、設(shè)置在混合集成電路外殼定位腔內(nèi)并與腔室(4)相適配的第三膨脹補(bǔ)償機(jī)構(gòu)以及沿豎直方向移動(dòng)設(shè)置在混合集成電路外殼定位腔內(nèi)并與扁引腳(2)相適配的扁引腳壓塊(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于含扁引腳混合集成電路外殼的高水平度燒結(jié)模具,其特征在于,所述的第一膨脹補(bǔ)償機(jī)構(gòu)及第二膨脹補(bǔ)償機(jī)構(gòu)均包括設(shè)置在混合集成電路外殼定位腔內(nèi)的第一支撐塊(7)、第二支撐塊(8)以及設(shè)置在第一支撐塊(7)與第二支撐塊(8)之間的第一壓塊(9),所述的第一支撐塊(7)與混合集成電路外殼定位腔的內(nèi)側(cè)壁相適配,所述的第二支撐塊(8)與外殼(1)相適配。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于含扁引腳混合集成電路外殼的高水平度燒結(jié)模具,其特征在于,所述的第一支撐塊(7)及第二支撐塊(8)均呈水平設(shè)置的三棱柱狀,所述的第一壓塊(9)呈水平設(shè)置的圓柱狀,并且所述的第一壓塊(9)的側(cè)面與第一支撐塊(7)、第二支撐塊(8)的傾斜面相接觸。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于含扁引腳混合集成電路外殼的高水平度燒結(jié)模具,其特征在于,所述的外殼(1)上設(shè)有延伸板(10),所述的混合集成電路外殼定位腔內(nèi)還設(shè)有與延伸板(10)相適配的延伸板壓塊(11)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于含扁引腳混合集成電路外殼的高水平度燒結(jié)模具,其特征在于,所述的第三膨脹補(bǔ)償機(jī)構(gòu)包括并列設(shè)置在混合集成電路外殼定位腔內(nèi)的第三支撐塊(12)、第四支撐塊(13)以及設(shè)置在第三支撐塊(12)與第四支撐塊(13)之間的第二壓塊(14),所述的扁引腳壓塊(6)沿豎直方向移動(dòng)設(shè)置在第四支撐塊(13)與外殼(1)的內(nèi)側(cè)壁之間,所述的扁引腳(2)的一端位于扁引腳壓塊(6)的下方。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于含扁引腳混合集成電路外殼的高水平度燒結(jié)模具,其特征在于,所述的第四支撐塊(13)的側(cè)面設(shè)有與扁引腳(2)的端部相適配的下凸臺(tái)(15),所述的扁引腳壓塊(6)的底部設(shè)有與扁引腳(2)的端部相適配的上凸臺(tái)(16)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于含扁引腳混合集成電路外殼的高水平度燒結(jié)模具,其特征在于,所述的模具托盤(5)上開設(shè)有與扁引腳(2)相適配的扁引腳放置槽(17)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





