[實用新型]光學位置檢測裝置有效
| 申請號： | 201821476182.X | 申請日： | 2018-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN208795163U | 公開（公告）日： | 2019-04-26 |
| 發明（設計）人： | 胡進 | 申請（專利權）人： | 蘇州億拓光電科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 蘇州謹和知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市蘇州工*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學位置檢測裝置 橫向偏移 探測器 光路 入射 光源 放大 本實用新型 反射光束 放大鏡組 工件表面 檢測裝置 空間位置 入射光束 位置變化 位置檢測 亞微米級 反射鏡 斜入射 避開 占據 申請 | ||
1.一種光學位置檢測裝置，其特征在于，包括：
光源；
第一反射鏡，可將來自光源的入射光束以一定傾角入射在工件的待測表面；
橫向偏移放大鏡組，可將待測表面的反射光束進行橫向偏移放大后入射至探測器；
探測器。
2.根據權利要求1所述的光學位置檢測裝置，其特征在于，定義一加工空間，該加工空間位于工件待測表面垂直上方，
所述光源、第一反射鏡、橫向偏移放大鏡組和探測器均位于所述加工空間外。
3.根據權利要求2所述的光學位置檢測裝置，其特征在于，所述光源和第一反射鏡位于所述加工空間的一側，
橫向偏移放大鏡組和探測器位于所述加工空間的另外一側。
4.根據權利要求1所述的光學位置檢測裝置，其特征在于，所述橫向偏移放大鏡組包括棱鏡，該棱鏡可將待測表面的反射光束進行橫向偏移放大。
5.根據權利要求4所述的光學位置檢測裝置，其特征在于，來自待測表面的反射光束自棱鏡的A面進入，并從棱鏡的B面射出，
其中A面與待測表面平行。
6.根據權利要求4所述的光學位置檢測裝置，其特征在于，所述棱鏡可將進入的反射光束進行橫向偏移放大8倍。
7.根據權利要求4所述的光學位置檢測裝置，其特征在于，所述橫向偏移放大鏡組包括擴束鏡組，所述擴束鏡組設置于探測器和棱鏡之間，
該擴束鏡組可將待測表面的反射光束進行橫向偏移放大。
8.根據權利要求7所述的光學位置檢測裝置，其特征在于，所述擴束鏡組可將進入的反射光束進行橫向偏移放大5～20倍。
9.根據權利要求7所述的光學位置檢測裝置，其特征在于，所述擴束鏡組和棱鏡之間設置有第二反射鏡，
所述擴束鏡組和第二反射鏡依次設置于探測器的正下方。
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