[實用新型]一種背封爐噴頭放置工具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821468582.6
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN208781815U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設計）人: 張?zhí)禊i;張娟娟
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 洛陽公信知識產(chǎn)權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 逯雪峰

一種背封爐噴頭放置工具，背封爐和放置工具均設置在工作臺上，背封爐上設有噴頭，噴頭前端設有噴嘴，噴頭放在放置工具上，放置工具包括門字型框架和噴頭支架，門字型框架的板面中心設有保護噴嘴的窄縫；噴頭支架包括豎桿和放置噴頭的圓形支撐環(huán)，圓形支撐環(huán)固定在豎桿頂端，且位于窄縫上方，豎桿下端的桿體上對稱設有凹槽，窄縫一側設有垂直且穿透板面的第一柱孔，沿著第一柱孔的徑向方向，對稱設有垂直第一柱孔內壁的第二柱孔，第二柱孔內設有彈簧凸塊，豎桿下端設置在第一柱孔內；本實用新型通過設置放置工具，可以將噴頭穩(wěn)當?shù)胤胖迷诠ぞ呱厦妫粫鲎驳絿娮欤阌趯婎^進行拆裝維護，解決了拆裝噴頭時無法放置的問題。

技術領域

本實用新型涉及半導體材料生產(chǎn)技術領域，具體的說是一種背封爐噴頭放置工具。

背景技術

半導體硅拋光片生產(chǎn)過程中有一道重要的工藝就是背封工藝，一種重要的背封工藝就是采用常壓化學氣象淀積（APCVD）原理在硅片背面生長一層二氧化硅薄膜，執(zhí)行該背封工藝主流設備有一種是常壓式背封爐即APCVD背封爐，工作原理如下：將硅片放到履帶上，勻速通過噴頭下方，噴頭噴出硅烷與氧氣在硅片表面發(fā)生反應，并通過氮氣使之與大氣進行隔離，適當?shù)臍怏w配合適當?shù)臏囟仍诔涵h(huán)境下進行反應，在硅片背面生成一層二氧化硅薄膜。在生產(chǎn)過程中為保證工藝質量，要經(jīng)常對噴頭進行維護和清潔，此時，要對噴頭進行拆裝，由于噴頭屬于精密設備，噴頭的噴嘴是一條狹縫并凸出5毫米左右，尤其是噴嘴不能經(jīng)受碰撞或擠壓，如果直接將噴頭放置在工作臺上，勢必會擠壓到噴嘴，影響工藝質量，而側面放置又無法拆裝，因此需要設計一種專門用來放置背封爐噴頭的工具，將噴嘴保護起來，避免噴嘴受到擠壓或碰撞。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述技術問題的不足，本實用新型提出一種背封爐噴頭放置工具，可以將噴頭穩(wěn)當?shù)胤胖迷诠ぞ呱厦妫粫鲎驳絿娮欤阌趯婎^進行拆裝維護，解決了拆裝噴頭時無法放置的問題。

本實用新型為解決上述技術問題的不足而采用的技術方案是：一種背封爐噴頭放置工具，背封爐和放置工具均設置在工作臺上，所述背封爐上設有噴頭，所述噴頭前端設有噴嘴，所述噴頭放在所述放置工具上，所述放置工具包括門字型框架和噴頭支架，所述門字型框架的板面中心設有保護所述噴嘴的窄縫；所述噴頭支架包括豎桿和放置所述噴頭的圓形支撐環(huán)，所述圓形支撐環(huán)固定在所述豎桿頂端，且位于所述窄縫上方，所述豎桿下端的桿體上對稱設有凹槽，所述窄縫一側設有垂直且穿透所述板面的第一柱孔，沿著所述第一柱孔的徑向方向，對稱設有垂直所述第一柱孔內壁的第二柱孔，所述第二柱孔內設有彈簧凸塊，所述豎桿下端設置在所述第一柱孔內。

作為優(yōu)選方案，所述彈簧凸塊包括弧形凸塊和彈簧，所述彈簧一端固定在所述第二柱孔內壁上，另一端與所述弧形凸塊的平面連接，所述弧形凸塊的弧面指向所述第一柱孔的中心。

作為優(yōu)選方案，所述弧形凸塊的弧面與所述凹槽相匹配，通過所述凹槽與所述彈簧凸塊配合，將所述豎桿卡緊在所述第一柱孔內。

作為優(yōu)選方案，所述凹槽設有2~4組，每組以所述豎桿的中心軸為對稱軸設置在所述豎桿的桿體上。

作為優(yōu)選方案，所述圓形支撐環(huán)的直徑小于所述噴頭的尺寸。

作為優(yōu)選方案，所述窄縫的寬度和長度分別大于所述噴嘴的寬度和長度。

作為優(yōu)選方案，所述圓形支撐環(huán)的中心與所述窄縫的中心在工作臺上的投影重合。

本實用新型的有益效果是：

（1）本實用新型提供了一種背封爐噴頭放置工具，包括門字型框架和噴頭支架，門字型框架可以設置在背封爐的工作臺上，在門字型框架的板面中心設有窄縫，噴頭支架設置在窄縫上方，噴頭朝下放置在噴頭支架上，將噴嘴放進窄縫內，在對噴頭進行維護和清潔時，避免了拆裝噴頭時對噴嘴造成碰撞或擠壓損害，提高了工藝質量和設備穩(wěn)定性；