[實用新型]一種背封爐噴頭放置工具

有效

• 申請號: 201821468582.6
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN208781815U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 張天鵬;張娟娟
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 逯雪峰

1.一種背封爐噴頭放置工具，背封爐和放置工具均設置在工作臺上，所述背封爐上設有噴頭，所述噴頭前端設有噴嘴，所述噴頭放在所述放置工具上，其特征在于，所述放置工具包括門字型框架和噴頭支架，所述門字型框架的板面中心設有保護所述噴嘴的窄縫；所述噴頭支架包括豎桿和放置所述噴頭的圓形支撐環，所述圓形支撐環固定在所述豎桿頂端，且位于所述窄縫上方，所述豎桿下端的桿體上對稱設有凹槽，所述窄縫一側設有垂直且穿透所述板面的第一柱孔，沿著所述第一柱孔的徑向方向，對稱設有垂直所述第一柱孔內壁的第二柱孔，所述第二柱孔內設有彈簧凸塊，所述豎桿下端設置在所述第一柱孔內。

2.如權利要求1所述的一種背封爐噴頭放置工具，其特征在于，所述彈簧凸塊包括弧形凸塊和彈簧，所述彈簧一端固定在所述第二柱孔內壁上，另一端與所述弧形凸塊的平面連接，所述弧形凸塊的弧面指向所述第一柱孔的中心。

3.如權利要求2所述的一種背封爐噴頭放置工具，其特征在于，所述弧形凸塊的弧面與所述凹槽相匹配，通過所述凹槽與所述彈簧凸塊配合，將所述豎桿卡緊在所述第一柱孔內。

4.如權利要求1所述的一種背封爐噴頭放置工具，其特征在于，所述凹槽設有2~4組，每組以所述豎桿的中心軸為對稱軸設置在所述豎桿的桿體上。

5.如權利要求1所述的一種背封爐噴頭放置工具，其特征在于，所述圓形支撐環的直徑小于所述噴頭的尺寸。

6.如權利要求1所述的一種背封爐噴頭放置工具，其特征在于，所述窄縫的寬度和長度分別大于所述噴嘴的寬度和長度。

7.如權利要求1所述的一種背封爐噴頭放置工具，其特征在于，所述圓形支撐環的中心與所述窄縫的中心在工作臺上的投影重合。