[實(shí)用新型]三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821460559.2
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN208781846U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 華子群;劉峻
• 申請（專利權(quán)）人: 長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L27/11578
• 分類號: H01L27/11578
• 代理公司: 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31294
• 代理人: 董琳;陳麗麗

1.一種三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

下層導(dǎo)線，沿第一方向延伸；

上層導(dǎo)線，沿與所述第一方向垂直的第二方向設(shè)置于所述下層導(dǎo)線上方；

轉(zhuǎn)接墊，沿所述第二方向設(shè)置于所述下層導(dǎo)線下方；所述轉(zhuǎn)接墊的一端電連接所述下層導(dǎo)線的端部、另一端與所述上層導(dǎo)線電連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述下層導(dǎo)線為位線。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：

第一導(dǎo)電連接柱，沿所述第二方向延伸，且所述第一導(dǎo)電連接柱的一端連接所述位線的所述端部、另一端連接所述轉(zhuǎn)接墊；

第二導(dǎo)電連接柱，沿所述第二方向延伸，且所述第二導(dǎo)電連接柱的一端連接所述上層導(dǎo)線、另一端連接所述轉(zhuǎn)接墊；

所述第二導(dǎo)電連接柱沿所述第二方向的高度大于所述第一導(dǎo)電連接柱沿所述第二方向的高度。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述互連結(jié)構(gòu)沿所述第二方向?qū)盈B于具有溝道孔的堆疊結(jié)構(gòu)之上；所述互連結(jié)構(gòu)還包括：

第三導(dǎo)電連接柱，沿所述第二方向設(shè)置于所述位線下方，且其一端連接所述位線、另一端連接插塞，用于通過所述插塞向所述溝道孔傳輸位線信號。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：

多條沿第三方向平行排列的所述位線，所述第三方向同時(shí)與所述第一方向和所述第二方向垂直；

與多條所述位線一一對應(yīng)的多條所述上層導(dǎo)線，且多條所述上層導(dǎo)線沿所述第三方向平行排列；

與多條所述位線一一對應(yīng)的多個(gè)所述轉(zhuǎn)接墊，多個(gè)所述轉(zhuǎn)接墊至少部分分布于外圍區(qū)域，所述外圍區(qū)域?yàn)閲@所述堆疊結(jié)構(gòu)設(shè)置的區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，多個(gè)所述轉(zhuǎn)接墊均分布于所述外圍區(qū)域；

多條所述位線沿所述第三方向依次排序；與第奇數(shù)條所述位線連接的所述轉(zhuǎn)接墊和與第偶數(shù)條所述位線連接的所述轉(zhuǎn)接墊分別位于所述堆疊結(jié)構(gòu)相對兩側(cè)的所述外圍區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，多個(gè)所述轉(zhuǎn)接墊劃分為第一組轉(zhuǎn)接墊、第二組轉(zhuǎn)接墊和第三組轉(zhuǎn)接墊；沿所述第一方向上，所述第一組轉(zhuǎn)接墊與所述第二組轉(zhuǎn)接墊位于所述堆疊結(jié)構(gòu)相對兩側(cè)的所述外圍區(qū)域，所述第三組轉(zhuǎn)接墊沿所述第二方向位于所述堆疊結(jié)構(gòu)上；

多條所述位線沿所述第三方向依次排序；所述第一組轉(zhuǎn)接墊與第3n-2條位線連接，所述第二組轉(zhuǎn)接墊與第3n-1條位線連接，所述第三組轉(zhuǎn)接墊與第3n條位線連接；其中，n為正整數(shù)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一組轉(zhuǎn)接墊中的若干轉(zhuǎn)接墊、所述第二組轉(zhuǎn)接墊中的若干轉(zhuǎn)接墊和所述第三組轉(zhuǎn)接墊中的若干轉(zhuǎn)接墊均沿所述第三方向平行排列。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接墊為沿所述第一方向延伸的矩形形狀。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器中的互連結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述三維存儲(chǔ)器為3D NAND存儲(chǔ)器。