[實用新型]整體式真空鍍膜裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821457738.0 | 申請日: | 2018-09-09 |
| 公開(公告)號: | CN209227046U | 公開(公告)日: | 2019-08-09 |
| 發(fā)明(設計)人: | 周一夫 | 申請(專利權)人: | 廣州北辰工業(yè)自動化有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 510000 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 三級泵 鍍膜箱 二級泵 排氣口 腔體 本實用新型 整體式真空 鍍膜裝置 密封管道 真空系統(tǒng) 底架 連通 高真空鍍膜 整體式結構 控制系統(tǒng) 一端設置 抽真空 一級泵 并聯(lián) 搬運 | ||
本實用新型公開了一種整體式真空鍍膜裝置,包括底架、鍍膜箱、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng);所述底架的一端設置有腔體;所述鍍膜箱固定于腔體的上方;所述真空系統(tǒng)包括二級泵、三級泵;所述二級泵通過密封管道與鍍膜箱連通,所述三級泵固定于鍍膜箱上;所述二級泵的排氣口還連接有一級泵;所述三級泵的排氣口還連接有后級泵。二級泵還通過密封管道與三級泵的排氣口連通,與后級泵相互并聯(lián);二級泵可以對鍍膜箱和三級泵的腔體進行抽真空,還可以在后級泵異常時,代替后級泵排除三級泵收集的氣體。本實用新型可以高效、穩(wěn)定的實現(xiàn)高真空鍍膜環(huán)境,而且采用整體式結構設計,具有結構簡單、合理,可以快速、方便的進行搬運及安裝的特點。
技術領域
本實用新型涉及一種鍍膜裝置,特別是涉及一種整體式真空鍍膜裝置。
背景技術
由于真空鍍膜可以在被鍍工件的表面形成高質(zhì)量的金屬光澤和鏡面效果,根據(jù)不同膜層材料的特性,還可以使被鍍工件具有出色的光、熱、電屏蔽或導通的性能,因此廣泛的應用與各種照明、裝飾件、光學等工件的表面處理上。
因為真空鍍膜裝置的結構復雜、體積較大,尤其是在大型、高真空要求的真空鍍膜裝置上更加突出,導致真空鍍膜裝置的搬運、安裝費時費力。
實用新型內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術的不足,本實用新型的目的在于提供一種整體式真空鍍膜裝置,可以高效、穩(wěn)定的實現(xiàn)高真空鍍膜環(huán)境,而且采用整體式結構設計,具有結構簡單、合理,可以快速、方便的進行搬運及安裝的特點。
為解決上述問題,本實用新型所采用的技術方案如下:
整體式真空鍍膜裝置,包括:底架、鍍膜箱、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng);
所述底架的一端設置有腔體;
所述鍍膜箱固定于腔體的上方;
所述真空系統(tǒng)包括二級泵、三級泵;所述二級泵通過密封管道與鍍膜箱連通,所述三級泵固定于鍍膜箱上;
所述控制系統(tǒng)設置在鍍膜箱的一側;
優(yōu)選的,所述二級泵的排氣口連接有一級泵。
優(yōu)選的,所述三級泵的排氣口連接有后級泵4。
優(yōu)選的,所述三級泵的外形最低點高于底架的下表面。
優(yōu)選的,所述二級泵通過密封管道與三級泵的排氣口連通,二級泵與后級泵相互并聯(lián)。
優(yōu)選的,一級泵為單級旋片真空泵,二級泵為羅茨真空泵,三級泵為油擴散真空泵,后級泵雙級旋片真空泵。
優(yōu)選的,所述一級泵、二級泵、三級泵和后級泵均與控制系統(tǒng)電連接。
優(yōu)選的,底架的底部兩側各設置有若干個腳杯。
優(yōu)選的,底架的一側設置有連接桿,控制系統(tǒng)使用緊固件固定于連接桿上。
優(yōu)選的,底架的兩側均設置有側架。
優(yōu)選的,所述一級泵、二級泵和后級泵均固定于泵支架上,泵支架固定于底架的上方,泵支架與底架連接面之間設置有減震墊。
相比現(xiàn)有技術,本實用新型的有益效果在于:
本實用新型可以高效、穩(wěn)定的實現(xiàn)高真空鍍膜環(huán)境,而且采用整體式結構設計,具有結構簡單、合理,可以快速、方便的進行搬運及安裝的優(yōu)點。
附圖說明
圖1為本實用新型的整體結構示意圖;
圖2為底架及泵支架示意圖;
其中:底架10;腔體11;腳杯12;側架13;減震墊14;連接桿15;鍍膜箱20;真空系統(tǒng)30;一級泵31;二級泵32;三級泵33;后級泵34;泵支架35;控制箱40;
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





