[實用新型]整體式真空鍍膜裝置有效
| 申請號： | 201821457738.0 | 申請日： | 2018-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN209227046U | 公開（公告）日： | 2019-08-09 |
| 發明（設計）人： | 周一夫 | 申請（專利權）人： | 廣州北辰工業自動化有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 510000 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 三級泵 鍍膜箱 二級泵 排氣口 腔體 本實用新型 整體式真空 鍍膜裝置 密封管道 真空系統 底架 連通 高真空鍍膜 整體式結構 控制系統 一端設置 抽真空 一級泵 并聯 搬運 | ||
【權利要求書】：
1.整體式真空鍍膜裝置，其特征在于，包括：底架、鍍膜箱、真空系統和控制系統；
所述底架的一端設置有腔體；
所述鍍膜箱固定于腔體的上方；
所述真空系統包括二級泵、三級泵；所述二級泵通過密封管道與鍍膜箱連通，所述三級泵固定于鍍膜箱上；
所述控制系統設置在鍍膜箱的一側。
2.如權利要求1所述的整體式真空鍍膜裝置，其特征在于：所述二級泵的排氣口連接有一級泵。
3.如權利要求1所述的整體式真空鍍膜裝置，其特征在于：所述三級泵的排氣口連接有后級泵。
4.如權利要求1所述的整體式真空鍍膜裝置，其特征在于：所述三級泵的外形最低點高于底架的下表面。
5.如權利要求1所述的整體式真空鍍膜裝置，其特征在于：所述二級泵通過密封管道與三級泵的排氣口連通，二級泵與后級泵相互并聯。
6.如權利要求1或2或3所述的整體式真空鍍膜裝置，其特征在于：一級泵為單級旋片真空泵，二級泵為羅茨真空泵，三級泵為油擴散真空泵，后級泵雙級旋片真空泵。
7.如權利要求1所述的整體式真空鍍膜裝置，其特征在于：底架的底部兩側各設置有若干個腳杯。
8.如權利要求1所述的整體式真空鍍膜裝置，其特征在于：底架的一側設置有連接桿，控制系統使用緊固件固定于連接桿上。
9.如權利要求1所述的整體式真空鍍膜裝置，其特征在于：底架的兩側均設置有側架。
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