[實(shí)用新型]一種穩(wěn)定鍍膜的載片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821456970.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208965031U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊寶立;余仲;張勇;伍波
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/458
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/458;C23C16/513;H01L21/673
• 代理公司: 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽(yáng)

1.一種穩(wěn)定鍍膜的載片裝置，其特征在于，包括石英托架，設(shè)于該石英托架中的石墨舟片組件，該石墨組件由垂直所述石英托架軸線的石墨舟片間隔連接而成；所述的石英托架包括兩側(cè)板、連接該兩側(cè)板上部的兩根上槽棒，連接該兩側(cè)板下部的至少一根下槽棒，所述的上槽棒分別設(shè)于所述兩側(cè)板的橫向兩側(cè)，所述側(cè)板的下側(cè)邊設(shè)有對(duì)應(yīng)卡入所述石墨舟片組件的卡槽。

2.如權(quán)利要求1所述的載片裝置，其特征在于，所述下槽棒的上表面設(shè)有支撐所述石墨舟片底邊的下槽棒齒槽。

3.如權(quán)利要求1所述的載片裝置，其特征在于，所述上槽棒的內(nèi)表面設(shè)有支撐所述石墨舟片兩側(cè)邊的上槽棒齒槽。

4.如權(quán)利要求1所述的載片裝置，其特征在于，所述側(cè)板的外側(cè)面還設(shè)有把手。

5.如權(quán)利要求1~4任一項(xiàng)所述的載片裝置，其特征在于，所述的石墨舟片組件由正、負(fù)極石墨舟片間隔排列，并通過(guò)陶瓷桿將正極石墨舟片、負(fù)極石墨舟片分別電性連接成具有間隙的排列；通過(guò)將正極石墨舟片、負(fù)極石墨舟片分別電性連接的陶瓷桿引出正極舟腳、負(fù)極舟腳，所述石英托架側(cè)板的下側(cè)邊的卡槽對(duì)應(yīng)卡入所述的正極舟腳、負(fù)極舟腳。

6.如權(quán)利要求5所述的載片裝置，其特征在于，所述石墨舟片組件上部?jī)蓚?cè)各有一根陶瓷桿和石墨舟片組件下部設(shè)有兩根陶瓷桿將所述的正極石墨舟片、負(fù)極石墨舟片分別間隔串接起來(lái)。

7.如權(quán)利要求6所述的載片裝置，其特征在于，所述的石墨舟片組件下部的一側(cè)的兩根陶瓷桿端引出所述的正極舟腳，其連通套在上方兩根陶瓷桿上的導(dǎo)電套將所述的正極石墨舟片電性連接起來(lái)；所述的石墨舟片組件下部的另一側(cè)的兩根陶瓷桿端引出所述的負(fù)極舟腳，其連通套在下方兩根陶瓷桿上的導(dǎo)電套將所述的負(fù)極石墨舟片電性連接起來(lái)。

8.如權(quán)利要求7所述的載片裝置，其特征在于，所述的正、負(fù)極舟腳為固定連接于所述陶瓷桿端上的U形塊，所述石英托架側(cè)板的下側(cè)邊的卡槽對(duì)應(yīng)卡入所述U形塊凹下的溝槽中。

9.如權(quán)利要求5所述的載片裝置，其特征在于，所述正、負(fù)極石墨舟片的表面設(shè)有多個(gè)硅片卡點(diǎn)。