[實(shí)用新型]微通道與納米棒陣列的復(fù)合結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821447470.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-05
• 公開（公告）號(hào): CN208983904U
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周文斌;胡學(xué)功;何雨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院工程熱物理研究所
• 主分類號(hào): F28D15/04
• 分類號(hào): F28D15/04
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 李坤

1.一種微通道與納米棒陣列的復(fù)合結(jié)構(gòu)，包括：

微通道結(jié)構(gòu)，設(shè)置在基板上，用于提供高滲透率；以及

納米棒陣列結(jié)構(gòu)，設(shè)置在所述微通道結(jié)構(gòu)的表面，用于提高所述微通道結(jié)構(gòu)的毛細(xì)壓力；

其中，所述微通道結(jié)構(gòu)中的微通道包括N條，N條所述微通道并列設(shè)置，N≥1。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微通道與納米棒陣列的復(fù)合結(jié)構(gòu)，所述納米棒陣列結(jié)構(gòu)中：納米棒的直徑介于5nm至900nm之間，所述納米棒的長度介于100nm至50μm之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微通道與納米棒陣列的復(fù)合結(jié)構(gòu)，所述微通道的橫截面為矩形、梯形、三角形或圓弧形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微通道與納米棒陣列的復(fù)合結(jié)構(gòu)，其中：

所述微通道的寬度介于10μm至950μm之間；

所述微通道的深度介于10μm至2000μm之間；

兩相鄰所述微通道的間距介于20μm至2000μm之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微通道與納米棒陣列的復(fù)合結(jié)構(gòu)，所述基板為鋁、鋁合金、銅、銅合金、半導(dǎo)體、陶瓷或氧化物中的至少一種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微通道與納米棒陣列的復(fù)合結(jié)構(gòu)，所述納米棒陣列結(jié)構(gòu)為鋁納米棒陣列結(jié)構(gòu)、鋁化合物納米棒陣列結(jié)構(gòu)、銅納米棒陣列結(jié)構(gòu)、銅化合物納米棒陣列結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體納米棒陣列結(jié)構(gòu)、陶瓷納米棒陣列結(jié)構(gòu)或氧化物納米棒陣列結(jié)構(gòu)中的至少一種。