[實用新型]光罩清洗治具

有效

• 申請號: 201821445869.7
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN208891816U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 杜武兵;林偉;黃國勇
• 申請（專利權）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: A46B13/02
• 分類號: A46B13/02;B08B1/04
• 代理公司: 深圳市翼智博知識產權事務所(普通合伙) 44320
• 代理人: 黃莉

本實用新型涉及一種光罩清洗治具，包括中空且兩端開口的軸套、借助于軸承固定安裝于軸套內且兩端分別自軸套兩端的開口伸出的芯軸、固定于芯軸的自軸套的底端開口伸出的一端上的刷具，芯軸的自軸套頂端開口伸出的一端與驅動芯軸旋轉的旋轉動力機構傳動連接。本實用新型實施例通過芯軸一端和旋轉動力機構連接另一端固定刷具，旋轉動力機構啟動帶動芯軸旋轉進而驅動刷具轉動，清洗人員可手持治具使刷具在光罩上來回移動，刷具在旋轉動力機構帶動下旋轉，能迅速刷洗掉光罩表面雜質，減少水和人員勞動力的消耗及清洗劑對人體危害，而且通過刷具刷洗光罩的表面干凈，不局限于光罩的尺寸，避免了人工清洗的低效和機器清洗的損耗，有效降低了清洗的成本。

技術領域

本實用新型實施例涉及光罩制作技術領域，尤其涉及一種光罩清洗治具。

背景技術

光罩的制作流程中要至少進行兩次光罩清洗，通常地，尺寸在850mm*1200mm以上的大尺寸光罩，采用設備自動清洗；而尺寸在800 mm *960 mm以下的中小尺寸光罩，多采用人工手動刷洗。

以上這兩種傳統的光罩清洗方法主要具體有以下缺點：設備自動清洗耗損較大，水電氣浪費，清洗成本高；而對于人工手動刷洗的光罩較難清洗干凈，人員勞動強度大，清洗劑對人體產生危害。

實用新型內容

本實用新型實施例所要解決的技術問題在于，提供一種光罩清洗治具，以便能便捷、低成本的實現光罩清洗。

為了解決上述技術問題，本實用新型實施例提供以下技術方案：一種光罩清洗治具，所述清洗治具包括中空且兩端開口的軸套、借助于軸承固定安裝于軸套內且兩端分別自所述軸套兩端的開口伸出的芯軸、固定于所述芯軸的自所述軸套的底端開口伸出的一端上的刷具，所述芯軸的自軸套頂端開口伸出的一端與用于驅動芯軸旋轉的旋轉動力機構傳動連接。

進一步的，所述軸套頂端還固定有連接板，所述旋轉動力機構固定于所述連接板上，所述旋轉動力機構的旋轉輸出軸穿過所述連接板與芯軸共軸且在周向相對固定。

進一步的，所述軸套內部設有軸承，所述芯軸自所述軸承的中心孔穿過，所述芯軸和軸承之間在徑向固定但在軸向及周向均可相對活動。

進一步的，所述芯軸頂端向內凹陷，形成凹槽，所述凹槽槽壁設有第一卡槽；所述旋轉動力機構的輸出軸上設有第一卡鍵；所述輸出軸插入所述芯軸凹槽內，所述第一卡鍵嵌入所述第一卡槽。

進一步的，所述芯軸底端向下凸出，形成凸起，所述凸起外壁設有第二卡鍵；所述刷具中心設有軸轂，所述軸轂向內凹陷，形成軸轂孔，所述軸轂孔內壁設有第二卡槽；所述芯軸底端凸起插入所述刷具軸轂孔內，所述第二卡鍵嵌入所述第二卡槽。

進一步的，所述連接板與所述旋轉動力機構均設有對應的螺紋孔，由螺栓螺合于所述螺紋孔內而固定連接所述連接板與旋轉動力機構。

進一步的，所述連接板底端設有連接套筒，所述軸套頂端側壁設有定位螺孔，所述軸套套接在所述連接套筒內，另由螺栓螺合于所述定位螺孔而固定連接所述軸套和連接板。

采用上述技術方案后，本實用新型實施例至少具有如下有益效果：本實用新型實施例通過芯軸一端和旋轉動力機構連接另一端固定有刷具，旋轉動力機構通電啟動帶動芯軸旋轉進而驅動刷具轉動，清洗人員可手持治具的軸套部分使刷具在光罩表面來回移動，由于刷具在旋轉動力機構帶動下自動旋轉，而能迅速刷洗掉光罩表面的雜質和灰塵，減少水和人員勞動力的消耗及清洗劑對人體危害，而且通過刷具的反復刷洗光罩的表面干凈，不局限于光罩的尺寸，避免了人工清洗的低效和機器清洗的損耗，有效降低了清洗的成本。

附圖說明

圖1是本實用新型光罩清洗治具一個可選實施例的整體示意圖。

圖2是本實用新型光罩清洗治具一個可選實施例的整體爆炸圖。