[實用新型]光罩清洗治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821445869.7
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN208891816U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 杜武兵;林偉;黃國勇
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市路維光電股份有限公司
• 主分類號: A46B13/02
• 分類號: A46B13/02;B08B1/04
• 代理公司: 深圳市翼智博知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44320
• 代理人: 黃莉

1.一種光罩清洗治具，其特征在于，所述清洗治具包括中空且兩端開口的軸套、借助于軸承固定安裝于軸套內(nèi)且兩端分別自所述軸套兩端的開口伸出的芯軸、固定于所述芯軸的自所述軸套的底端開口伸出的一端上的刷具，所述芯軸的自軸套頂端開口伸出的一端與用于驅(qū)動芯軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動力機構(gòu)傳動連接。

2.如權(quán)利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述軸套頂端還固定有連接板，所述旋轉(zhuǎn)動力機構(gòu)固定于所述連接板上，所述旋轉(zhuǎn)動力機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)輸出軸穿過所述連接板與芯軸共軸且在周向相對固定。

3.如權(quán)利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述軸套內(nèi)部設(shè)有軸承，所述芯軸自所述軸承的中心孔穿過，所述芯軸和軸承之間在徑向固定但在軸向及周向均可相對活動。

4.如權(quán)利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述芯軸頂端向內(nèi)凹陷，形成凹槽，所述凹槽槽壁設(shè)有第一卡槽；所述旋轉(zhuǎn)動力機構(gòu)的輸出軸上設(shè)有第一卡鍵；所述輸出軸插入所述芯軸凹槽內(nèi)，所述第一卡鍵嵌入所述第一卡槽。

5.如權(quán)利要求1所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述芯軸底端向下凸出，形成凸起，所述凸起外壁設(shè)有第二卡鍵；所述刷具中心設(shè)有軸轂，所述軸轂向內(nèi)凹陷，形成軸轂孔，所述軸轂孔內(nèi)壁設(shè)有第二卡槽；所述芯軸底端凸起插入所述刷具軸轂孔內(nèi)，所述第二卡鍵嵌入所述第二卡槽。

6.如權(quán)利要求2所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述連接板與所述旋轉(zhuǎn)動力機構(gòu)均設(shè)有對應(yīng)的螺紋孔，由螺栓螺合于所述螺紋孔內(nèi)而固定連接所述連接板與旋轉(zhuǎn)動力機構(gòu)。

7.如權(quán)利要求2所述的光罩清洗治具，其特征在于，所述連接板底端設(shè)有連接套筒，所述軸套頂端側(cè)壁設(shè)有定位螺孔，所述軸套套接在所述連接套筒內(nèi)，另由螺栓螺合于所述定位螺孔而固定連接所述軸套和連接板。