[實(shí)用新型]多線切割設(shè)備及其換槽機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821436953.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209682649U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘雪明;李鑫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天通日進(jìn)精密技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00;B28D5/04
• 代理公司: 31309 上海巔石知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 張明;王再朝<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=

本申請(qǐng)公開(kāi)一種多線切割設(shè)備及其換槽機(jī)構(gòu)，該多線切割設(shè)備包括承載裝置、線切割裝置、以及換槽機(jī)構(gòu)，其中，線切割裝置中的切割輪通過(guò)安裝軸而設(shè)于切割支座上且開(kāi)設(shè)有至少二圈線槽，換槽機(jī)構(gòu)包括設(shè)于切割輪的安裝軸中至少一端的段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)，在換槽過(guò)程中，僅需驅(qū)動(dòng)段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)即可將新的線槽調(diào)整至原線槽所在的繞線位置，整個(gè)換槽作業(yè)操作簡(jiǎn)單且可確保位置調(diào)整精準(zhǔn)到位，提高了作業(yè)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及晶體硅加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種多線切割設(shè)備及其換槽機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

在制造各種半導(dǎo)體器件或光伏器件時(shí)，將包含硅、藍(lán)寶石、或陶瓷等硬脆材料的半導(dǎo)體工件切割為規(guī)格尺寸的結(jié)構(gòu)。由于半導(dǎo)體工件切割是制約后續(xù)成品的重要工序，因而對(duì)其作業(yè)要求也越來(lái)越高。目前，多線切割技術(shù)由于具有生產(chǎn)效率高、作業(yè)成本低、作業(yè)精度高等特點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于產(chǎn)業(yè)的半導(dǎo)體工件切割生產(chǎn)中。

多線切割技術(shù)是以高速運(yùn)行的切割線作為載體，帶動(dòng)砂漿顆粒進(jìn)行切割。一般地，在多線切割設(shè)備中，配置有多個(gè)的切割輪和導(dǎo)線輪，由切割線在切割輪的線槽以及與切割輪對(duì)應(yīng)的導(dǎo)線輪的線槽上依序纏繞形成多條切割線段，從而利用多條切割線段對(duì)待切割工件進(jìn)行切割。經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間使用之后，切割輪上的線槽會(huì)產(chǎn)生磨損，當(dāng)需要更換切割輪的線槽槽位的時(shí)候(切割輪上帶有多個(gè)線槽)，需要校準(zhǔn)切割輪的移動(dòng)距離(移動(dòng)距離需要工作人員測(cè)量并確定)，且有些情形下，導(dǎo)線輪的位置也需要作出相應(yīng)的調(diào)整以滿足切割需求，整個(gè)過(guò)程費(fèi)時(shí)費(fèi)力，不僅影響了生產(chǎn)效率，而且增加了企業(yè)的生產(chǎn)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于以上所述相關(guān)技術(shù)的缺失，本申請(qǐng)的目的在于公開(kāi)一種多線切割設(shè)備及其換槽機(jī)構(gòu)，用于解決相關(guān)技術(shù)中切割線換槽作業(yè)操作繁雜、效率低下等問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他目的，本申請(qǐng)的第一方面公開(kāi)一種多線切割設(shè)備，包括：承載裝置，用于承載晶體硅工件；線切割裝置，包括線切割支座、設(shè)于所述線切割支座上的切割輪組和導(dǎo)線輪組、以及切割線，其中，所述切割線繞于所述切割輪組中各個(gè)切割輪和所述導(dǎo)線輪組中各個(gè)導(dǎo)線輪而形成切割線網(wǎng)；所述切割輪通過(guò)安裝軸而設(shè)于所述切割支座上，所述切割輪上開(kāi)設(shè)有至少二圈線槽；換槽機(jī)構(gòu)，包括設(shè)于所述安裝軸中至少一端的段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)；其中，在換槽過(guò)程中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述安裝軸，驅(qū)動(dòng)所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)，將新的線槽調(diào)整至原線槽所在的繞線位置。

本申請(qǐng)公開(kāi)的多線切割設(shè)備，在線切割裝置中配置了換槽機(jī)構(gòu)，該換槽機(jī)構(gòu)包括設(shè)于切割輪的安裝軸中至少一端的段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)，在換槽過(guò)程中，僅需驅(qū)動(dòng)段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)即可將新的線槽調(diào)整至原線槽所在的繞線位置，整個(gè)換槽作業(yè)操作簡(jiǎn)單且可確保位置調(diào)整精準(zhǔn)到位，提高了作業(yè)效率。

本申請(qǐng)的第二方面公開(kāi)一種應(yīng)用于多線切割設(shè)備的換槽機(jī)構(gòu)，述多線切割設(shè)備包括承載裝置、以及線切割裝置，所述承載裝置包括線切割支座、設(shè)于所述線切割支座上的切割輪組和導(dǎo)線輪組、以及切割線，其中，所述切割線繞于所述切割輪組中各個(gè)切割輪和所述導(dǎo)線輪組中各個(gè)導(dǎo)線輪而形成切割線網(wǎng)；所述切割輪通過(guò)安裝軸而設(shè)于所述切割支座上，所述切割輪上開(kāi)設(shè)有至少二圈線槽；其特征在于，所述邊換槽機(jī)構(gòu)包括設(shè)于所述安裝軸中至少一端的段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)；在換槽過(guò)程中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述安裝軸，驅(qū)動(dòng)所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)，將新的線槽調(diào)整至原線槽所在的繞線位置。

本申請(qǐng)公開(kāi)的應(yīng)用于多線切割設(shè)備的換槽機(jī)構(gòu)，在切割輪的安裝軸的至少一端設(shè)有段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)，在換槽過(guò)程中，僅需驅(qū)動(dòng)段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)即可將新的線槽調(diào)整至原線槽所在的繞線位置，整個(gè)換槽作業(yè)操作簡(jiǎn)單且可確保線槽槽位調(diào)整精準(zhǔn)到位，提高了作業(yè)效率。

附圖說(shuō)明

圖1顯示為本申請(qǐng)多線切割設(shè)備在某一實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2顯示為本申請(qǐng)裝配有硅棒轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的多線切割設(shè)備在某一實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3顯示為圖2中硅棒轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。