[實(shí)用新型]多線切割設(shè)備及其換槽機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821436953.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN209682649U
• 公開（公告）日: 2019-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘雪明;李鑫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天通日進(jìn)精密技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00;B28D5/04
• 代理公司: 31309 上海巔石知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 張明;王再朝<國際申請(qǐng)>=<國際公布>=

1.一種多線切割設(shè)備，其特征在于，包括：

承載裝置，用于承載晶體硅工件；

線切割裝置，包括線切割支座、設(shè)于所述線切割支座上的切割輪組和導(dǎo)線輪組、以及切割線，其中，所述切割線繞于所述切割輪組中各個(gè)切割輪和所述導(dǎo)線輪組中各個(gè)導(dǎo)線輪而形成切割線網(wǎng)；所述切割輪通過安裝軸而設(shè)于所述切割支座上，所述切割輪上開設(shè)有至少二圈線槽；以及

換槽機(jī)構(gòu)，包括設(shè)于所述安裝軸中至少一端的段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)；

其中，在換槽過程中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述安裝軸，驅(qū)動(dòng)所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)，將新的線槽調(diào)整至原線槽所在的繞線位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割設(shè)備，其特征在于，所述換槽機(jī)構(gòu)還包括定位結(jié)構(gòu)，所述定位結(jié)構(gòu)與所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)配合，用于定位所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)的移動(dòng)距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多線切割設(shè)備，其特征在于，所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)為設(shè)在所述安裝軸末端的臺(tái)階式端面，所述臺(tái)階式端面中臺(tái)階面的數(shù)量與所述切割輪上線槽數(shù)量相一致，且，相鄰兩個(gè)臺(tái)階面之間的落差對(duì)應(yīng)于相鄰兩圈線槽之間的槽距；所述定位結(jié)構(gòu)為止擋銷，用于通過抵靠于所述臺(tái)階式端面中的臺(tái)階面進(jìn)行定位。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多線切割設(shè)備，其特征在于，所述臺(tái)階式端面中相鄰兩個(gè)臺(tái)階面之間的落差為1.8毫米至2.5毫米。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多線切割設(shè)備，其特征在于，所述臺(tái)階式端面中相鄰兩個(gè)臺(tái)階面之間還包括過渡結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多線切割設(shè)備，其特征在于，所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)為設(shè)在所述安裝軸內(nèi)的臺(tái)階式凹槽，所述臺(tái)階式凹槽中臺(tái)階槽的數(shù)量與所述切割輪上線槽數(shù)量相一致，且，相鄰兩個(gè)臺(tái)階槽之間的落差對(duì)應(yīng)于相鄰兩圈線槽之間的槽距；所述定位結(jié)構(gòu)為定位插銷，用于通過卡入于所述臺(tái)階式凹槽中的臺(tái)階槽進(jìn)行定位。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的多線切割設(shè)備，其特征在于，所述臺(tái)階式凹槽中相鄰兩個(gè)臺(tái)階槽之間的落差為1.8毫米至2.5毫米。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的多線切割設(shè)備，其特征在于，所述臺(tái)階式凹槽中相鄰兩個(gè)臺(tái)階槽之間還包括過渡結(jié)構(gòu)。

9.一種應(yīng)用于多線切割設(shè)備的換槽機(jī)構(gòu)，所述多線切割設(shè)備包括承載裝置、以及線切割裝置，所述承載裝置包括線切割支座、設(shè)于所述線切割支座上的切割輪組和導(dǎo)線輪組、以及切割線，其中，所述切割線繞于所述切割輪組中各個(gè)切割輪和所述導(dǎo)線輪組中各個(gè)導(dǎo)線輪而形成切割線網(wǎng)；所述切割輪通過安裝軸而設(shè)于所述切割支座上，所述切割輪上開設(shè)有至少二圈線槽；其特征在于，所述換槽機(jī)構(gòu)包括設(shè)于所述安裝軸中至少一端的段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)；在換槽過程中，轉(zhuǎn)動(dòng)所述安裝軸，驅(qū)動(dòng)所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)，將新的線槽調(diào)整至原線槽所在的繞線位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的換槽機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述換槽機(jī)構(gòu)還包括定位結(jié)構(gòu)，所述定位結(jié)構(gòu)與所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)配合，用于定位所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)進(jìn)行段落式移動(dòng)的移動(dòng)距離。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的換槽機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述段落式調(diào)整結(jié)構(gòu)為設(shè)在所述安裝軸末端的臺(tái)階式端面，所述臺(tái)階式端面中臺(tái)階面的數(shù)量與所述切割輪上線槽數(shù)量相一致，且，相鄰兩個(gè)臺(tái)階面之間的落差對(duì)應(yīng)于相鄰兩圈線槽之間的槽距；所述定位結(jié)構(gòu)為止擋銷，用于通過抵靠于所述臺(tái)階式端面中的臺(tái)階面進(jìn)行定位。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的換槽機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述臺(tái)階式端面中相鄰兩個(gè)臺(tái)階面之間的落差為1.8毫米至2.5毫米。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的換槽機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述臺(tái)階式端面中相鄰兩個(gè)臺(tái)階面之間還包括過渡結(jié)構(gòu)。