[實用新型]反應設備

有效

• 申請號: 201821427719.3
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN208835086U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 張軍
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0445;C23C14/04
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 趙永輝

本實用新型涉及一種反應設備，包括：隔離組件、反應腔室以及與所述反應腔室連接的部件，所述隔離組件設置于所述反應腔室與所述部件間；其中，所述隔離組件包括：轉接件，包圍形成一個與所述反應腔室內部空間連通的空腔，且具有相對設置于所述空腔內壁的進氣口和出氣口；進氣管道，與所述進氣口連通，用于通過所述進氣口向所述空腔吹氣；抽氣管道，與所述出氣口連通，用于通過所述出氣口從所述空腔吸氣。本申請可以通過出氣口與進氣口之間形成的氣體屏障將轉接件內的空腔隔離為兩部分，使反應腔室一側的氣體無法到達部件一側，從而達到隔離保護的目的。

技術領域

本實用新型涉及薄膜電池領域，特別是涉及一種反應設備。

背景技術

隨著社會經濟的發展，能源與環境之間的矛盾日益加重，因而，采用開發可再生來取代傳統能源，也成為了必然的發展趨勢。太陽能電池作為新能源中最有發展前景的發電方式之一，近些年逐漸得到了越來越多的重視。然而，現階段阻礙太陽能行業發展的主要困難是其較高的價格。目前占據主要市場份額的晶體硅電池，由于其上游產業鏈較長，且原材料成本占總成本的比例較大，因此價格降低的空間很小。隨著近些年晶硅價格的上漲及薄膜技術的發展，晶體硅電池的優勢正在逐漸削弱，而薄膜電池以其成本相對較低、應用靈活等特點，必然會成為未來太陽能電池的發展方向。

在傳統的薄膜太陽能電池工藝生產過程中，反應腔室中用于鍍膜的工藝氣體或生成物會對與反應腔室相連的部件造成腐蝕或附著，影響部件的使用壽命和生產安全。

實用新型內容

基于此，有必要針對反應腔室產生的氣體對與反應腔室相連的部件的腐蝕或附著問題，提供一種反應設備，以對部件進行保護。

一種反應設備，包括：隔離組件、反應腔室以及與所述反應腔室連接的部件，所述隔離組件設置于所述反應腔室與所述部件之間；其中，

所述隔離組件包括：

轉接件，包圍形成一個與所述反應腔室內部空間連通的空腔，且具有相對設置于所述空腔內壁的進氣口和出氣口；

進氣管道，與所述進氣口連通，用于通過所述進氣口向所述空腔吹氣；

抽氣管道，與所述出氣口連通，用于通過所述出氣口從所述空腔吸氣。

在一個實施例中，所述轉接件包括至少一個噴頭，所述噴頭具有條形噴口，所述條形噴口的延伸方向與所述空腔延伸方向交叉，所述條形噴口形成所述進氣口。

在一個實施例中，所述隔離組件包括流量控制裝置，設置于所述進氣管道，用于控制流入氣體的流量。

在一個實施例中，所述隔離組件包括：

第一閥門，設置于所述進氣管道，用于控制所述進氣管道中氣體的通斷；

第二閥門，設置于所述抽氣管道，用于控制所述抽氣管道的通斷。

在一個實施例中，所述第一閥門和所述第二閥門均為氣動閥。

在一個實施例中，所述抽氣管道與一真空環境連通。

在一個實施例中，所述隔離組件包括儲氣設備，與所述進氣管道連接。

在一個實施例中，所述隔離組件包括：

進氣泵，連接于所述進氣管道與所述儲氣設備之間；

抽氣泵，與所述抽氣管道連接，用于對所述抽氣管道抽氣，所述抽氣泵的抽氣速度大于或等于所述進氣泵的進氣速度。

在一個實施例中，所述進氣口與所述出氣口相接形成環形凹陷，將所述空腔內壁隔開。

在一個實施例中，所述進氣口與所述出氣口分別占據所述環形凹陷的一半，以形成進氣和出氣的平衡。