[實用新型]反應設備

有效

• 申請號: 201821427719.3
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN208835086U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 張軍
• 申請（專利權）人: 君泰創新（北京）科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0445;C23C14/04
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 趙永輝

1.一種反應設備，其特征在于，包括：隔離組件(11)、反應腔室(12)以及與所述反應腔室(12)連接的部件(14)，所述隔離組件(11)設置于所述反應腔室(12)與所述部件(14)之間；其中，

所述隔離組件(11)包括：

轉接件(100)，包圍形成一個與所述反應腔室(12)內部空間連通的空腔(110)，且具有相對設置于所述空腔(110)內壁的進氣口(120)和出氣口(130)；

進氣管道(200)，與所述進氣口(120)連通，用于通過所述進氣口(120)向所述空腔(110)吹氣；

抽氣管道(300)，與所述出氣口(130)連通，用于通過所述出氣口(130)從所述空腔(110)吸氣。

2.根據權利要求1所述的反應設備，其特征在于，所述轉接件(100)包括至少一個噴頭(140)，所述噴頭(140)具有條形噴口(142)，所述條形噴口(142)的延伸方向與所述空腔(110)延伸方向交叉，所述條形噴口(142)形成所述進氣口(120)。

3.根據權利要求1所述的反應設備，其特征在于，所述隔離組件(11)包括流量控制裝置(400)，設置于所述進氣管道(200)，用于控制流入氣體的流量。

4.根據權利要求1-3任一項所述的反應設備，其特征在于，所述隔離組件(11)包括：

第一閥門(500)，設置于所述進氣管道(200)，用于控制所述進氣管道(200)中氣體的通斷；

第二閥門(600)，設置于所述抽氣管道(300)，用于控制所述抽氣管道(300)的通斷。

5.根據權利要求4所述的反應設備，其特征在于，所述第一閥門(500)和所述第二閥門(600)均為氣動閥。

6.根據權利要求1所述的反應設備，其特征在于，所述抽氣管道(300)與一真空環境連通。

7.根據權利要求1所述的反應設備，其特征在于，所述隔離組件(11)包括儲氣設備(700)，與所述進氣管道(200)連接。

8.根據權利要求7所述的反應設備，其特征在于，所述隔離組件(11)包括：

進氣泵(800)，連接于所述進氣管道(200)與所述儲氣設備(700)之間；

抽氣泵(900)，與所述抽氣管道(300)連接，用于對所述抽氣管道(300)抽氣，所述抽氣泵(900)的抽氣速度大于或等于所述進氣泵(800)的進氣速度。

9.根據權利要求1所述的反應設備，其特征在于，所述進氣口(120)與所述出氣口(130)相接形成環形凹陷，將所述空腔(110)內壁隔開。

10.根據權利要求9所述的反應設備，其特征在于，所述進氣口(120)與所述出氣口(130)分別占據所述環形凹陷的一半，以形成進氣和出氣的平衡。