[實用新型]一種單晶硅棒切割裝置

有效

• 申請號: 201821427617.1
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN209649183U
• 公開（公告）日: 2019-11-19
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: B28D1/22
• 分類號: B28D1/22;B28D7/00
• 代理公司: 32280 常州市權航專利代理有限公司
• 代理人: 袁興隆<國際申請>=<國際公布>=<進入

本實用新型涉及晶圓加工設備附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種單晶硅棒切割裝置，其可以通過調節單晶硅棒每一次切割完畢之后的移動距離，從而能夠保證每一次切割的單晶硅片厚度一致；并且可以限制內圓切割片的移動軌跡，從而保證單晶硅片的厚度均勻；包括操作臺、單晶硅棒、電動機、內圓切割片和切割片支架，切割片支架的設置有四組爪桿；還包括滑軌、四組限位輪、四組支撐桿、移動板，滑軌設置有兩組滑動槽，移動板設置有伸縮桿、聯動桿、調節把和固定桿，還包括限位器，限位器包括支座、搖桿、轉動軸和擋板；還包括兩組架桿、兩組圓形軌、兩組限位輪、動力軸、從動轉軸、支撐轉軸、動力轉軸和皮帶，電動機的底端設置有穩定板。

技術領域

本實用新型涉及晶圓加工設備附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種單晶硅棒切割裝置。

背景技術

眾所周知，單晶硅棒切割裝置是一種在生產晶圓的過程中，用于切割單晶硅棒的裝置，其在晶圓加工設備的領域中得到了廣泛的使用；現有的單晶硅棒切割裝置包括操作臺、單晶硅棒、兩組彈簧固定卡、電動機、內圓切割片和切割片支架，所述兩個組彈簧固定卡的底端均與操作臺的頂端連接，兩組彈簧固定卡的頂端均與單晶硅棒固定卡裝，所述電動機的輸出端與切割片支架的固定端連接，所述切割片支架的設置有四組爪桿，所述切割片支架的四組爪桿的工作端分別與內圓切割片的內側壁邊緣螺接；現有的單晶硅棒切割裝置使用時，首先將單晶硅棒在操作臺的兩組彈簧固定卡上固定好，然后工作人員將內圓切割片安裝在電動機輸出端的切割片支架上，最后工作人員操作電動機帶動內圓切割片對單晶硅棒切割即可；現有的單晶硅棒切割裝置使用中發現，首先電動機帶動內圓切割片對單晶硅棒切割的時候，無法保證從單晶硅棒上切下來的單晶硅片的厚度是一致的，從而導致局限性較高；并且工作人員手動操作電動機帶動內圓切割片對單晶硅棒切割，由于人為因素的存在無法保證單晶硅片的厚度均勻，從而導致實用性較差。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種可以通過調節單晶硅棒每一次切割完畢之后的移動距離，從而能夠保證每一次切割的單晶硅片厚度一致，降低使用局限性；并且可以限制內圓切割片的移動軌跡，從而保證單晶硅片的厚度均勻，增強實用性的單晶硅棒切割裝置。