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[實用新型]一種單晶硅棒切割裝置有效

專利信息
申請號: 201821427617.1 申請日: 2018-08-31
公開(公告)號: CN209649183U 公開(公告)日: 2019-11-19
發明(設計)人: 王昌華 申請(專利權)人: 江蘇英銳半導體有限公司
主分類號: B28D1/22 分類號: B28D1/22;B28D7/00
代理公司: 32280 常州市權航專利代理有限公司 代理人: 袁興隆<國際申請>=<國際公布>=<進入
地址: 224002 江蘇省鹽城市經濟*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 兩組 切割片支架 單晶硅棒 單晶硅片 內圓切割 一次切割 電動機 限位輪 限位器 移動板 滑軌 操作臺 單晶硅棒切割 晶圓加工設備 本實用新型 擋板 從動轉軸 動力轉軸 附屬裝置 厚度均勻 厚度一致 移動軌跡 支撐轉軸 動力軸 固定桿 滑動槽 聯動桿 伸縮桿 穩定板 圓形軌 支撐桿 轉動軸 底端 架桿 搖桿 爪桿 皮帶 保證
【權利要求書】:

1.一種單晶硅棒切割裝置,包括操作臺(1)、單晶硅棒(2)、電動機(3)、內圓切割片(4)和切割片支架(5),所述切割片支架(5)的設置有四組爪桿,所述切割片支架(5)的四組爪桿的工作端分別與內圓切割片(4)的內側壁邊緣螺接;其特征在于,還包括滑軌(6)、四組限位輪(7)、四組支撐桿(8)、移動板(9),所述滑軌(6)的固定端與操作臺(1)的頂端左側連接,所述滑軌(6)設置有兩組滑動槽,所述四組限位輪(7)包括兩組前輪和兩組后輪,所述四組支撐桿(8)包括兩組前支撐桿和兩組后支撐桿,所述兩組前輪分別與兩組前支撐桿的底端轉動連接,所述兩組后輪分別與兩組后支撐桿轉動連接,所述兩組前輪和兩組后輪分別轉動卡裝在滑軌(6)的兩組滑動槽內,所述兩組前支撐桿的底端與移動板(9)的底端前側連接,所述兩組后支撐桿的底端與移動板(9)的底端后側連接,移動板(9)設置有伸縮桿(10)、聯動桿(11)、調節把(12)和固定桿(13),所述移動板(9)的內部設置有伸縮腔,所述伸縮腔的底端右側設置有限位滑口,伸縮腔的前側壁的左側設置有調節滑口,所述固定桿(13)的右端與伸縮腔的右側壁底端連接,所述固定桿(13)的左端與伸縮桿(10)的右下側活動鉚接,所述伸縮桿(10)的底端設置有多組檔位桿,所述多組檔位桿的底端均自伸縮腔內部穿過限位滑口并伸出至伸縮腔的底側,所述伸縮桿(10)的左端與聯動桿(11)的右端活動鉚接,聯動桿(11)的左端設置有連接軸,所述調節把(12)的外側壁中部設置有拉動口,所述聯動桿(11)的連接軸的活動端自伸縮腔內部穿過調節滑口并且伸出至伸縮腔外側,同時連接軸的活動端繼續自調節把(12)的內側穿過拉動口并且伸出到調節把(12)的前側,所述調節把(12)與聯動桿(11)的連接軸通過拉動口活動鉚接,還包括限位器,所述限位器包括支座(14)、搖桿(15)、轉動軸(16)和擋板(17),所述支座(14)的底端與滑軌(6)的頂端右側連接,所述支座(14)的左端和右端連通設置有連通孔,所述轉動軸(16)的左端自支座(14)的右端穿過連通孔并伸出至支座(14)的左端,所述轉動軸(16)的右端與搖桿(15)的固定端連接,所述轉動軸(16)的左端與擋板(17)的固定端連接;還包括兩組架桿(18)、兩組圓形軌(19)、兩組限位輪(20)、動力軸(21)、從動轉軸(22)、支撐轉軸(23)、動力轉軸(24)和皮帶(25),所述電動機(3)的底端設置有穩定板,所述穩定板的左端與操作臺(1)的右側壁底端連接,所述電動機(3)的輸出端與動力轉軸(24)固定套裝,所述支撐轉軸(23)的左端轉動設置有挑桿,所述挑桿的左端與操作臺(1)的右側壁連接,所述從動轉軸(22)、支撐轉軸(23)和動力轉軸(24)分別與皮帶(25)轉動套裝,所述從動轉軸(22)的左端中心區域與動力軸(21)的右端連接,所述轉動軸(16)分別與兩組限位輪(20)轉動套裝,所述兩組架桿(18)的底端均與操作臺(1)的頂端右側連接,所述兩組架桿(18)的頂端分別與兩組圓形軌(19)的底端連接,所述兩組圓形軌(19)均設置有限位軌道,所述兩組限位輪(20)分別轉動卡裝在兩組限位軌道上,并且兩組限位輪(20)均設置有兩組卡裝片,所述兩組限位輪(20)均通過兩組卡裝片分別與兩組圓形軌(19)的左側壁和右側壁緊貼,動力軸(21)的左端與切割片支架(5)的固定端連接。

2.如權利要求1所述的一種單晶硅棒切割裝置,其特征在于,還包括擠壓轉軸(26)、擺動桿(27)、強力扭簧(28)和側位桿(29),所述側位桿(29)的左端與操作臺(1)的右側壁上側連接,側位桿(29)的右端與擺動桿(27)的底端活動鉚接,所述側位桿(29)的頂端中部設置有插入槽,所述插入槽頂端設置有插入口,所述擺動桿(27)的左側壁設置有拉伸槽,所述拉伸槽的左側設置有拉伸口,所述強力扭簧(28)的固定端自插入槽外側穿過插入口并且伸入到插入槽內部,強力扭簧(28)的轉動端自拉伸槽的外側穿過拉伸口并且伸入到拉伸槽內部,所述擺動桿(27)的右側壁頂端設置有連接桿,擺動桿(27)通過連接桿的右端與擠壓轉軸(26)轉動連接,所述擠壓轉軸(26)的圓周壁與皮帶(25)的外側壁緊貼。

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