[實用新型]材料供應裝置、材料供應系統

有效

• 申請號: 201821423042.6
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN209531189U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B05B9/03
• 分類號: B05B9/03;B05B12/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 佟婷婷

本實用新型提供一種材料供應裝置、材料供應系統，材料供應裝置包括：存儲裝置，其上設置信息存儲部件，記錄有存儲裝置中供應材料的追蹤信息；相連通的緩沖裝置、抽取裝置及噴涂裝置；信息識別部件，識別信息存儲部件內的追蹤信息；控制裝置，獲取信息存儲部件的追蹤信息并和目標供應材料的目標信息進行比較，判斷二者是否匹配。本實用新型通過信息存儲部件及信息識別部件的作用，獲取存儲裝置中供應材料的追蹤信息，通過控制裝置獲取上述追蹤信息及目標供應材料的目標信息，并進行比較以判斷操作人員準備的存儲裝置是否正確，減少操作人員誤判斷帶來的損害，防止錯誤的材料應用到制備工藝中，同時防止錯誤的材料造成供應系統的污染。

技術領域

本實用新型屬于半導體制造技術領域，特別涉及一種材料供應裝置、材料供應系統。

背景技術

半導體器件廣泛用于各種電子產品中，諸如個人電腦、手機、數碼相機和其他電子設備。在半導體制造工藝過程中通常會使用到多種不同種類的耗材，例如光刻工藝中的光刻膠，抗反射涂層等。當機臺中的光刻膠消耗完畢時，需要對機臺中的光刻膠進行補充，補充方式為把裝滿光刻膠的容器安裝到供應裝置中，將報空的目標容器替下。然而，在補充的過程中，經常會因為各種原因導致安裝上裝有與機臺報空光刻膠不同種類的光刻膠的容器，導致錯誤的光刻工藝，同時導致設備的污染。除光刻膠的補充外，還有多種類似材料的供應存在上述問題。

因此，如何提供一種安全可靠的材料供應裝置、材料供應系統，以解決現有技術中的上述問題實屬必要。

實用新型內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本實用新型的目的在于提供一種材料供應裝置、材料供應系統，用于解決現有技術中發生的材料補充錯誤，及錯誤的材料對供應裝置的污染等問題。

為實現上述目的及其他相關目的，本實用新型提供一種材料供應裝置，包括：

存儲裝置，與氣體輸入管路相連通，所述存儲裝置用于存儲供應材料，所述存儲裝置上設置有信息存儲部件，所述信息存儲部件內記錄有所述存儲裝置中所述供應材料的追蹤信息；

緩沖裝置，通過第一管路與所述存儲裝置相連通，所述緩沖裝置用于接收并暫存所述存儲裝置中存儲的所述供應材料；

抽取裝置，通過第二管路與所述緩沖裝置相連通，所述抽取裝置用于抽取并輸出所述緩沖裝置中暫存的所述供應材料；

噴涂裝置，通過第三管路與所述抽取裝置相連通，所述噴涂裝置用于接收所述抽取裝置輸出的所述供應材料并噴涂所述供應材料；

信息識別部件，用于識別所述存儲裝置上的所述信息存儲部件內的所述追蹤信息；以及

控制裝置，與所述信息識別部件相連接，并通過所述信息識別部件獲取其識別的所述追蹤信息，且所述控制裝置還接收報空的目標供應材料的目標信息，其中，所述控制裝置將所述追蹤信息與所述目標信息進行比較，依據比較結果判斷所述存儲裝置中所存儲的所述供應材料是否匹配所述目標供應材料。

作為本實用新型的一種可選方案，所述材料供應裝置還包括報警裝置，所述報警裝置與所述控制裝置相連接，用于依據所述控制裝置的所述比較結果發出提示信息，其中，所述報警裝置至少在所述追蹤信息與所述目標信息不匹配時，提醒操作人員核查所述存儲裝置中的所述供應材料。

作為本實用新型的一種可選方案，所述氣體輸入管路上設置有氣體閥門，所述氣體閥門與所述控制裝置相連接，其中，當所述控制裝置的所述比較結果指示所述追蹤信息與所述目標信息不匹配時，所述控制裝置控制鎖死所述氣體閥門。

作為本實用新型的一種可選方案，所述控制裝置與機臺總閥門相連接，其中，當所述控制裝置的所述比較結果指示所述追蹤信息與所述目標信息不匹配時，所述控制裝置控制鎖死所述機臺總閥門。