[實用新型]材料供應裝置、材料供應系統

有效

• 申請號: 201821423042.6
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN209531189U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B05B9/03
• 分類號: B05B9/03;B05B12/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 佟婷婷

1.一種材料供應裝置，其特征在于，包括：

用于存儲供應材料的存儲裝置，所述存儲裝置與氣體輸入管路相連通，所述存儲裝置上設置有信息存儲部件，所述信息存儲部件內記錄有所述存儲裝置中所述供應材料的追蹤信息；

用于接收并暫存所述存儲裝置中存儲的所述供應材料的緩沖裝置，所述緩沖裝置通過第一管路與所述存儲裝置相連通；

用于抽取并輸出所述緩沖裝置中暫存的所述供應材料的抽取裝置，所述抽取裝置通過第二管路與所述緩沖裝置相連通；

用于接收所述抽取裝置輸出的所述供應材料并噴涂所述供應材料的噴涂裝置，所述噴涂裝置通過第三管路與所述抽取裝置相連通；

用于識別所述存儲裝置上的所述信息存儲部件內的所述追蹤信息的信息識別部件；及

與所述信息識別部件相連接的控制裝置，所述控制裝置通過所述信息識別部件獲取其識別的所述追蹤信息，其中，所述控制裝置將所述追蹤信息與目標供應材料的目標信息進行比較，依據比較結果判斷所述存儲裝置中所存儲的所述供應材料是否匹配所述目標供應材料。

2.根據權利要求1所述的材料供應裝置，其特征在于，所述材料供應裝置還包括報警裝置，所述報警裝置與所述控制裝置相連接，用于依據所述控制裝置的所述比較結果發出提示信息，其中，所述報警裝置至少在所述追蹤信息與所述目標信息不匹配時，提醒操作人員核查所述存儲裝置中的所述供應材料。

3.根據權利要求1或2所述的材料供應裝置，其特征在于，所述氣體輸入管路上設置有氣體閥門，所述氣體閥門與所述控制裝置相連接，其中，當所述控制裝置的所述比較結果指示所述追蹤信息與所述目標信息不匹配時，所述控制裝置控制鎖死所述氣體閥門。

4.根據權利要求1或2所述的材料供應裝置，其特征在于，所述控制裝置與氣體總閥門相連接，其中，當所述控制裝置的所述比較結果指示所述追蹤信息與所述目標信息不匹配時，所述控制裝置控制鎖死所述氣體總閥門。

5.根據權利要求1所述的材料供應裝置，其特征在于，所述信息存儲部件內記錄的所述供應材料的所述追蹤信息包括供應材料名稱、供應材料批次代碼、供應材料系列編號、供應材料保質期所構成的群組中的至少一種。

6.根據權利要求1所述的材料供應裝置，其特征在于，所述抽取裝置與所述噴涂裝置之間的所述第三管路上還設置有過濾裝置。

7.根據權利要求1所述的材料供應裝置，其特征在于，所述供應材料包括光刻膠、抗反射涂層、填充層以及掩膜層材料中的任意一種。

8.一種材料供應系統，其特征在于，所述材料供應系統包括多個如權利要求1所述的材料供應裝置，其中，不同的所述材料供應裝置對應不同種類的所述供應材料。

9.根據權利要求8所述的材料供應系統，其特征在于，所述材料供應系統還包括報警裝置，所述報警裝置與所述控制裝置相連接，用于依據所述控制裝置的所述比較結果發出提示信息，其中，所述報警裝置至少在所述追蹤信息與所述目標信息不匹配時，提醒操作人員核查所述存儲裝置中的所述供應材料。

10.根據權利要求8或9所述的材料供應系統，其特征在于，各所述材料供應裝置共用同一所述控制裝置，其中，所述控制裝置將所述信息識別部件識別的各所述存儲裝置中所述供應材料的所述追蹤信息分別與對應的所述材料供應裝置中所需要的所述目標供應材料的所述目標信息進行比較，依據比較結果判斷所述存儲裝置中所存儲的所述供應材料是否匹配對應的所需要的所述目標供應材料。

11.根據權利要求10所述的材料供應系統，其特征在于，各所述材料供應裝置中的所述存儲裝置分別與不同的所述氣體輸入管路相連通，且各所述氣體輸入管路上均設置有氣體閥門，所述控制裝置與各所述氣體閥門均相連接，其中，當所述控制裝置的所述比較結果指示所述追蹤信息與所述目標信息不匹配時，所述控制裝置控制鎖死對應所述氣體輸入管路上的所述氣體閥門。