[實用新型]一堝多模制備難熔稀有金屬靶的裝置

有效

• 申請號: 201821418955.9
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN208787477U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 張磊;郭校亮;陳良杰;劉勛海
• 申請（專利權）人: 青島藍光晶科新材料有限公司
• 主分類號: B22D11/055
• 分類號: B22D11/055;B22D11/14;B22D11/10;C23C14/34
• 代理公司: 青島發思特專利商標代理有限公司 37212
• 代理人: 鞏同海

本實用新型涉及一種一堝多模制備難熔稀有金屬靶的裝置，屬于金屬靶材的制備技術領域。其包括爐體、送料機構、坩堝、水冷模塊、電子槍、真空系統和充氣結構，所述爐體分為爐室和電子槍室，所述水冷模塊包括水冷模具和設于該水冷模具下方的水冷拉錠機構；真空系統和充氣結構分別與爐室和電子槍室相連，坩堝設于爐室內部，送料機構的送料口設于坩堝上方，坩堝的出流口設于水冷模具的儲液區的上方，水冷模具和坩堝的上方設有電子槍，其特征在于，所述坩堝設有不少于2個出流口，每個出流口的下方均設有一個水冷模塊。本實用新型所述的裝置，可實現一堝多模，極大提高生產效率。

技術領域

本實用新型涉及一種一堝多模制備難熔稀有金屬靶的裝置，屬于金屬靶材的制備技術領域。

背景技術

在本技術領域中,難熔稀有金屬指熔點高于1650℃的稀有金屬，包括鈮、鉭、鈦、鉬中的一種或多種。

現有技術中，難熔稀有金屬靶材的生產均為一堝一模，一個坩堝只能一次性生產一模金屬靶材，生產效率低。

此外，對于旋轉金屬靶材，目前主要通過粉末冶金的方式來制備，該方式工藝路線繁瑣，成本較高，制備出的產品致密性較差。同時，在整個生產過程中，初級原料為高純金屬粉，經過后續多道生產工藝，生產過程中會對產品產生多次污染，導致最終得到的產品純度低于初始原料的純度。

實用新型內容

針對現有技術存在的上述缺陷，本實用新型提出了一種新的一堝多模制備難熔稀有金屬靶的裝置。

本實用新型是采用以下的技術方案實現的：

一種一堝多模制備難熔稀有金屬靶的裝置，包括爐體、送料機構、坩堝、水冷模塊、電子槍、真空系統和充氣結構，所述爐體分為爐室和電子槍室，所述水冷模塊包括水冷模具和設于該水冷模具下方的水冷拉錠機構；真空系統和充氣結構分別與爐室和電子槍室相連，坩堝設于爐室內部，送料機構的送料口設于坩堝上方，坩堝的出流口設于水冷模具的儲液區的上方，水冷模具和坩堝的上方設有電子槍，所述坩堝設有不少于2個出流口，每個出流口的下方均設有一個水冷模塊。優選地，所述真空系統包括爐室真空系統和電子槍真空系統，所述爐室真空系統與爐室相連，所述電子槍真空系統與電子槍室相連，爐室真空系統包括機械泵、羅茨泵和擴散泵，電子槍真空系統包括機械泵、羅茨泵和分子泵。

本實用新型公開了一種一堝多模制備難熔稀有金屬靶的裝置，坩堝設有多個出流口，每個出流口下方均設有水冷模具和水冷拉錠機構，可實現一堝多模，極大提高生產效率。

進一步地，所述坩堝設有2個出流口，2個出流口相對設置在坩堝的兩側。

進一步地，所述水冷模塊的規格相同。可一次性制備多個同材質同規格的金屬靶毛坯。本實用新型所述的同規格，是指大小和形狀均相同的情形。

進一步地，所述水冷模塊的規格至少有2種。可一次性制備多個同材質不同規格的金屬靶毛坯。本實用新型所述的不同規格，是指形狀相同大小不同、形狀不同大小相同或形狀和大小均不同的任意一種情形。

進一步地，所述水冷模具包括中心部分和外圍部分，中心部分包括第一水冷盤，外圍部分包括第二水冷盤，第二水冷盤設有第一通孔，所述第一通孔的孔徑大于第一水冷盤的外徑，第一水冷盤放置在第一通孔中，第一水冷盤外徑和第一通孔內徑之間的空間為儲液區；所述外圍部分和中心部分均設有冷卻水通路。

在本實用新型中，通過拉錠機構將水冷模具內凝固的金屬拉出模具，保證模具內可持續流入金屬液，可生產長度較長的旋轉金屬靶。同時，由于不需要保持全液態，僅保證模具內上部熔池即可，因此可采用小功率電子束，降低了生產能耗。

進一步地，所述中心部分還包括固定于第一水冷盤下方的管狀件，所述冷卻水通路開設于管狀件內部并通入第一水冷盤內部。管狀件作為第一水冷盤的供水通路。