[實用新型]一種用于多顆晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盤

有效

• 申請號: 201821413308.9
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN208608182U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 韋丁山;鄭凱元
• 申請（專利權）人: 安徽宏實自動化裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390
• 代理人: 胡劍輝

1.一種用于多顆晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盤，包括多孔性陶瓷吸盤本體(1)，其特征在于：所述多孔性陶瓷吸盤本體(1)的上端面兩側邊緣處均開設有卡槽(3)，多孔性陶瓷吸盤本體(1)的內部均勻開設有若干個微細孔(2)，多孔性陶瓷吸盤本體(1)的四個側壁均勻開設有若干個螺絲孔(4)，多孔性陶瓷吸盤本體(1)的底端面通過真空吸引吸附有吸附工件(5)；

所述多孔性陶瓷吸盤本體(1)的上端面插接在轉接外殼(6)底端面開設的凹槽(13)內，轉接外殼(6)的側壁通過若干個自攻絲(7)與多孔性陶瓷吸盤本體(1)的外側壁固定，且自攻絲(7)的一端螺紋安裝在螺絲孔(4)內，凹槽(13)的頂部內壁開設有用于插接在卡槽(3)內部的卡塊(12)，凹槽(13)的內側壁與多孔性陶瓷吸盤本體(1)的外側壁連接處粘貼有第一橡膠密封墊(8)；

所述轉接外殼(6)的上端面中心處開設有管道安裝孔(10)，管道安裝孔(10)內螺紋連接有真空管道(11)的底端，管道安裝孔(10)的內部存放有硅橡膠密封圈(14)。

2.根據權利要求1所述的一種用于多顆晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盤，其特征在于：所述多孔性陶瓷吸盤本體(1)與若干個微細孔(2)為一體成型。

3.根據權利要求1所述的一種用于多顆晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盤，其特征在于：所述微細孔(2)的直徑范圍為2um～40um。

4.根據權利要求1所述的一種用于多顆晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盤，其特征在于：所述第一橡膠密封墊(8)通過強力膠固定粘貼在凹槽(13)的內側壁上。

5.根據權利要求1所述的一種用于多顆晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盤，其特征在于：所述多孔性陶瓷吸盤本體(1)形狀為長方體，且多孔性陶瓷吸盤本體(1)的底端面為光滑面。

6.根據權利要求1所述的一種用于多顆晶粒拾取和放置的多孔性陶瓷吸盤，其特征在于：所述吸附工件(5)為IC托盤或其它吸附材料工件。