[實用新型]一種帶有銅冷卻裝置的陰極平臺

有效

• 申請號: 201821408558.3
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN208844181U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 匡國慶
• 申請（專利權）人: 鎮江市德利克真空設備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54
• 代理公司: 鎮江基德專利代理事務所(普通合伙) 32306
• 代理人: 馬振華

1.一種帶有銅冷卻裝置的陰極平臺，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供氣裝置和對稱設置在供氣裝置兩側的兩個陰極體；

所述的陰極體包括帶有環形凹槽的底板和設置在底板下部的若干個絕緣支架，所述的絕緣支架固定于底座上；所述的環形凹槽內裝有磁靴；所述的底板上由下至上依次設置有液冷板、銅背板、用于壓緊銅背板的第二壓板、靶材和用于壓緊靶材的第一壓板；

所述的液冷板上表面與所述的環形凹槽相對應位置處設置有環形凸槽，所述的環形凸槽伸入環形凹槽內，且該環形凸槽的外形與環形凹槽內部的形狀相匹配，所述的環形凸槽背面經銅背板封閉形成冷卻腔體；所述冷卻腔體的底部設有冷卻液的出、入口。

2.根據權利要求1所述的一種帶有銅冷卻裝置的陰極平臺，其特征在于，所述的磁靴的外表面與環形凹槽的內壁間還依次設有環形不銹鋼墊圈和環形鋁合金墊圈。

3.根據權利要求1所述的一種帶有銅冷卻裝置的陰極平臺，其特征在于，所述的供氣裝置包括固定在底座上的底架、與底架相連的中架、設置在中架兩側的左、右側板和橫截面呈工字形的頂架；所述中架的左側面設有主過氣凹槽，主過氣凹槽經左側板封閉形成主供氣管路，中架的右側面設有若干個獨立的輔過氣凹槽，輔過氣凹槽經右側板封閉形成若干個獨立的輔供氣管路；所述頂架與中架通過通氣板相連，所述的通氣板內部設有若干個橫截面呈Y字形的氣道；所述Y字形氣道的底部入口同時與主供氣管路的出口以及輔供氣管路的出口相連，所述主供氣管路的入口與主進氣管道相連，若干個輔供氣管路的入口與若干個輔進氣管道一一對應相連。

4.根據權利要求3所述的一種帶有銅冷卻裝置的陰極平臺，其特征在于，所述的每個輔供氣管路均包括三個輔氣支路出口，每個輔氣支路出口都單獨與一個Y字形氣道的底部入口相連。

5.根據權利要求3所述的一種帶有銅冷卻裝置的陰極平臺，其特征在于，所述的主供氣管路設有九個主氣支路出口，每個主氣支路出口都單獨與一個Y字形氣道的底部入口相連。