[實用新型]一種垂直傘形高真空插板閥

有效

• 申請號: 201821401233.2
• 申請日: 2018-08-29
• 公開（公告）號: CN208670108U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 朱選敏;郭愛云
• 申請（專利權）人: 武漢科瑞達真空科技有限公司
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02;F16K3/314
• 代理公司: 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368
• 代理人: 郭官厚

本實用新型公開了一種垂直傘形高真空插板閥，包括閥體真空腔，閥體真空腔的下端設置有閥體安裝門，閥體真空腔的內側設置有閥體導桿，閥體導桿的兩端分別通過導桿上安裝座和導桿下安裝座固定在閥體真空腔的內壁上，閥體導桿上安裝有支撐塊，支撐塊通過聯軸器與插板閥氣缸連接，插板閥氣缸通過氣缸軸密封連接在氣缸安裝門上。本實用新型垂直傘形高真空插板閥，有效的解決了大跨度大高度的基片裝載架或者托盤的真空閥門通過性，對工件箱的高度需要可達到1.5米的通過性，優化設計后可以達到高溫退火連續至需要的1100攝氏度，具有良好的高真空隔離有效性和穩定性，可實現電氣的全自動化控制，減少了人員的參與狀態，提高了產品的成品率。

技術領域

本實用新型涉及高真空插板閥技術領域，具體為一種垂直傘形高真空插板閥。

背景技術

大型的高溫高真空插板閥一直都是大型真空連續腔體真空隔離的難點和重點所在。目前連續裝飾鍍膜、連續工具鍍膜、高溫連續真空處理爐和光學鍍膜行業廣泛存在不能有效隔離的問題。對于這樣一個廣泛的應用領域，隔離主要存在以下問題：

1、閥板跨度大，在玻璃和裝飾鍍膜領域，裝載盤(或者裝載架)跨度已經需要2-4米跨度，對插板閥的設計提出了很高的要求；

2、閥板的高度大，在裝飾鍍膜和高溫退火連續爐領域，由于產能的要求，對工件箱(或裝載架)高度需要達到1.5米的通過性；

3、工作環境溫度高，在工具鍍膜和高溫退火連續爐領域需要爐體的溫度到達300攝氏度，高溫退火連續爐甚至需要到1100攝氏度；

4、節拍塊，由于工業化的生產，需要快節拍生產，一般連續運行節拍最快在60-90秒。

5、高真空隔離有效性和穩定性，插板閥要進行空氣與真空隔離、真空壓差隔離、真空工藝氣氛隔離和溫差隔離，對不同工藝需要進行不同的工藝設計。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種垂直傘形高真空插板閥，有效的解決了大跨度大高度的基片裝載架或者托盤的真空閥門通過性，對工件箱的高度需要可達到1.5米的通過性，允許的隔離溫度可到達300攝氏度，優化設計后可以達到高溫退火連續至需要的1100攝氏度，具有良好的高真空隔離有效性和穩定性，插板閥可進行空氣與真空隔離、真空壓差隔離、真空工藝氣氛隔離和溫差隔離，對不同工藝需要可進行不同的工藝優化設計，經過調校后，機械節拍達到了60-90秒，可實現電氣的全自動化控制，可以和全自動化生產線配合使用，減少了人員的參與狀態，提高了產品的成品率，可以解決現有技術中的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種垂直傘形高真空插板閥，包括閥體真空腔，所述閥體真空腔的下端設置有閥體安裝門，所述閥體真空腔的內側設置有閥體導桿，所述閥體導桿的兩端分別通過導桿上安裝座和導桿下安裝座固定在閥體真空腔的內壁上，所述閥體導桿上安裝有支撐塊，所述支撐塊通過聯軸器與插板閥氣缸連接，所述插板閥氣缸通過氣缸軸密封連接在氣缸安裝門上，所述氣缸安裝門上通過冷卻水進出軸密封連接有冷卻水進出管，所述冷卻水進出管通過冷卻水進出分水器與外部進出水法蘭連接，所述冷卻水進出管遠離冷卻水進出分水器的一端連接有冷卻水進出分水頭，所述支撐塊的一側設置有閥板導向輪，所述閥板導向輪的下方設置有閥板導向座，所述閥板導向輪的一側設置有傘形撐桿，所述傘形撐桿安裝在導向座上，所述傘形撐桿的一側設置有支撐板，所述支撐板的一側設置有限位塊，所述傘形撐桿的另一側設置有密封板。

優選的，所述支撐板和密封板的內側面分別焊接有支撐板冷卻水道和密封板冷卻水道，所述支撐板冷卻水道和密封板冷卻水道均通過軟管與冷卻水進出分水頭密封連接。

優選的，所述支撐塊通過插板閥氣缸在閥體導桿上運動。

優選的，所述支撐板和密封板通過傘形撐桿撐開。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：