[實用新型]一種垂直傘形高真空插板閥有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821401233.2 | 申請日: | 2018-08-29 |
| 公開(公告)號: | CN208670108U | 公開(公告)日: | 2019-03-29 |
| 發(fā)明(設計)人: | 朱選敏;郭愛云 | 申請(專利權)人: | 武漢科瑞達真空科技有限公司 |
| 主分類號: | F16K3/02 | 分類號: | F16K3/02;F16K3/314 |
| 代理公司: | 北京世譽鑫誠專利代理事務所(普通合伙) 11368 | 代理人: | 郭官厚 |
| 地址: | 430075 湖北省武漢市東湖高新技術開發(fā)區(qū)高新*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 閥體 插板閥 導桿 高真空 真空腔 傘形 本實用新型 垂直 通過性 氣缸 全自動化控制 閥體安裝 高溫退火 基片裝載 密封連接 氣缸連接 上安裝座 下安裝座 優(yōu)化設計 真空閥門 托盤 成品率 大跨度 工件箱 聯(lián)軸器 氣缸軸 內(nèi)壁 下端 支撐 隔離 | ||
1.一種垂直傘形高真空插板閥,包括閥體真空腔(1),其特征在于:所述閥體真空腔(1)的下端設置有閥體安裝門(2),所述閥體真空腔(1)的內(nèi)側(cè)設置有閥體導桿(4),所述閥體導桿(4)的兩端分別通過導桿上安裝座(20)和導桿下安裝座(16)固定在閥體真空腔(1)的內(nèi)壁上,所述閥體導桿(4)上安裝有支撐塊(17),所述支撐塊(17)通過聯(lián)軸器與插板閥氣缸(7)連接,所述插板閥氣缸(7)通過氣缸軸密封(5)連接在氣缸安裝門(3)上,所述氣缸安裝門(3)上通過冷卻水進出軸密封(8)連接有冷卻水進出管(9),所述冷卻水進出管(9)通過冷卻水進出分水器(6)與外部進出水法蘭連接,所述冷卻水進出管(9)遠離冷卻水進出分水器(6)的一端連接有冷卻水進出分水頭(10),所述支撐塊(17)的一側(cè)設置有閥板導向輪(14),所述閥板導向輪(14)的下方設置有閥板導向座(15),所述閥板導向輪(14)的一側(cè)設置有傘形撐桿(11),所述傘形撐桿(11)安裝在導向座(12)上,所述傘形撐桿(11)的一側(cè)設置有支撐板(18),所述支撐板(18)的一側(cè)設置有限位塊(13),所述傘形撐桿(11)的另一側(cè)設置有密封板(19)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種垂直傘形高真空插板閥,其特征在于:所述支撐板(18)和密封板(19)的內(nèi)側(cè)面分別焊接有支撐板冷卻水道(181)和密封板冷卻水道(191),所述支撐板冷卻水道(181)和密封板冷卻水道(191)均通過軟管與冷卻水進出分水頭(10)密封連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種垂直傘形高真空插板閥,其特征在于:所述支撐塊(17)通過插板閥氣缸(7)在閥體導桿(4)上運動。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種垂直傘形高真空插板閥,其特征在于:所述支撐板(18)和密封板(19)通過傘形撐桿(11)撐開。
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