[實用新型]輔助測量工裝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821389170.3 | 申請日: | 2018-08-27 |
| 公開(公告)號: | CN208674066U | 公開(公告)日: | 2019-03-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 申秋月;黃顯藝;許帥;楊鵬雨;劉旭博 | 申請(專利權(quán))人: | 米亞索樂裝備集成(福建)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京英創(chuàng)嘉友知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 胡婷婷;陳慶超 |
| 地址: | 362000 福建*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 輔助測量 工裝 承載件 底座 柔性太陽能電池 承載面 基準(zhǔn)面 顯微鏡 芯片 鉸接 測量 | ||
1.一種輔助測量工裝,用于測量柔性太陽能電池芯片,其特征在于,所述輔助測量工裝包括承載件(1)和底座(2),所述承載件(1)具有用于放置所述柔性太陽能電池芯片的承載面(11),所述底座(2)用于限定基準(zhǔn)面,所述承載件(1)鉸接于所述底座(2),以調(diào)整所述承載面(11)與所述基準(zhǔn)面之間的夾角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述承載件(1)與所述底座(2)之間過盈配合,以通過摩擦力保持相對于所述底座(2)的位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述輔助測量工裝還包括支架(3),該支架(3)設(shè)置在所述承載件(1)與所述底座(2)之間,用于保持所述承載件(1)相對于所述底座(2)的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述支架(3)通過滑動結(jié)構(gòu)連接于所述承載件(1)和/或所述底座(2),以沿遠(yuǎn)離或靠近所述承載件(1)與所述底座(2)之間的第一鉸接軸(15)的方向移動,所述承載件(1)通過所述支架(3)支撐以保持相對于所述底座(2)的位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述支架(3)具有彼此相對的近端部分(31)和遠(yuǎn)端部分(32),所述近端部分(31)鉸接于所述底座(2),所述遠(yuǎn)端部分(32)支撐所述承載件(1),以保持所述承載件(1)相對于所述底座(2)的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述承載件(1)具有與所述承載面(11)相對的背面(12),所述背面(12)上設(shè)置有用于與所述遠(yuǎn)端部分(32)相配合的多個凹槽(13)或凸起,所述多個凹槽(13)或凸起沿遠(yuǎn)離所述承載件(1)與所述底座(2)之間的第一鉸接軸(15)的方向相互間隔地設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述遠(yuǎn)端部分(32)設(shè)置有阻力墊,以通過所述阻力墊與所述承載件(1)之間的摩擦力保持所述承載件(1)相對于所述底座(2)的位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述底座(2)設(shè)置有用于容納所述支架(3)的避讓槽(21),以在所述承載件(1)轉(zhuǎn)動至所述承載面(11)與所述基準(zhǔn)面之間的夾角為零時避讓所述承載件(1);或者,
所述底座(2)設(shè)置有用于避讓所述支架(3)的開口,以使得所述支架(3)能夠繞其鉸接軸360°轉(zhuǎn)動,以在所述承載件(1)轉(zhuǎn)動至所述承載面(11)與所述基準(zhǔn)面之間的夾角為零時避讓所述承載件(1);或者,
所述承載件(1)包括鉸接臺(14),該鉸接臺(14)的兩端設(shè)置有用于使所述承載件(1)與所述底座(2)鉸接的第一鉸接軸(15),所述鉸接臺(14)從與所述承載面(11)相對的背面(12)凸出,以使得所述承載件(1)能夠轉(zhuǎn)動至所述承載面(11)與所述基準(zhǔn)面之間的夾角為零。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述承載面(11)上設(shè)置有止擋結(jié)構(gòu),用于保持所述柔性太陽能電池芯片相對于所述承載面(11)的位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項所述的輔助測量工裝,其特征在于,所述承載件(1)設(shè)置有磁塊,以通過磁力將所述柔性太陽能電池芯片保持在所述承載面(11)上;或者,
所述承載件(1)至少部分由磁性材料制成,以通過磁力將所述柔性太陽能電池芯片保持在所述承載面(11)上。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





