[實用新型]一種芯片覆膜工作臺有效
| 申請號: | 201821387046.3 | 申請日: | 2018-08-27 |
| 公開(公告)號: | CN208781814U | 公開(公告)日: | 2019-04-23 |
| 發明(設計)人: | 謝崇平;王小波;謝磊;劉磊;章維鵬 | 申請(專利權)人: | 無錫芯坤電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 工作面板 芯片放置 覆膜 磁性吸附板 真空吸附孔 覆膜裝置 環形凹槽 芯片 工作箱 真空泵 本實用新型 工作箱頂部 中心位置處 控制按鈕 生產效率 真空管道 左右兩側 桌頂部 工作臺 螺接 啟閉 接通 保證 | ||
1.一種芯片覆膜工作臺,包括操作桌(1)以及固定設于操作桌(1)頂部的覆膜裝置(2),其特征在于:所述覆膜裝置(2)包括工作箱(3)以及螺接于工作箱(3)頂部的工作面板(4),所述工作面板(4)的中心位置設有芯片放置板(5),所述芯片放置板(5)的外圈且位于工作面板(4)上設有磁性吸附板(6),所述芯片放置板(5)和磁性吸附板(6)之間設有環形凹槽(7),所述環形凹槽(7)的左右兩側且位于芯片放置板(5)的中心位置處均設有真空吸附孔(9),所述真空吸附孔(9)通過真空管道(10)與設于工作箱(3)內部的真空泵(11)相接通,所述工作面板(4)的左上方設有兩個控制真空泵(11)啟閉的控制按鈕(12)。
2.根據權利要求1所述的一種芯片覆膜工作臺,其特征在于:所述工作箱(3)以及工作面板(4)的形狀均為方形。
3.根據權利要求1所述的一種芯片覆膜工作臺,其特征在于:所述磁性吸附板(6)的形狀為環形,且磁性吸附板(6)對稱設有四個直線切角。
4.根據權利要求1所述的一種芯片覆膜工作臺,其特征在于:所述磁性吸附板(6)下方的左右兩側且位于工作面板(4)上對稱設有兩個圓形凹槽(8)。
5.根據權利要求1所述的一種芯片覆膜工作臺,其特征在于:所述磁性吸附板(6)通過螺栓與工作面板(4)螺接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





