[實(shí)用新型]一種柔性高效PECVD特氣槽

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821377476.7
• 申請(qǐng)日: 2018-08-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208748195U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范志東;王峰;吳翠平;楊瑞臣;耿小丕
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 承德石油高等專(zhuān)科學(xué)校
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/513
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/513;C23C16/455;C23C16/34
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型提供了一種柔性高效PECVD特氣槽，特氣槽包括左倉(cāng)室4、右倉(cāng)室7，所述左倉(cāng)室4內(nèi)設(shè)有左滾軸8，所述右倉(cāng)室7內(nèi)設(shè)有右滾軸5，所述左滾軸8以及所述右滾軸5之間纏繞著金屬薄片1，所述金屬薄片1圍繞在反應(yīng)腔室10的外側(cè)，所述金屬薄片1上設(shè)有特氣孔2，所述特氣孔2與所述反應(yīng)腔室10上的特氣孔氣路對(duì)應(yīng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種光伏技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種柔性高效PECVD特氣槽。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能電池是通過(guò)光電效應(yīng)或者光化學(xué)效應(yīng)直接把光能轉(zhuǎn)化成電能的裝置。目前，晶硅太陽(yáng)能電池仍為市場(chǎng)上的主流，其制備過(guò)程主要包括，太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)工藝流程分為硅片檢測(cè)——表面制絨及酸洗——擴(kuò)散制結(jié)——去磷硅玻璃——等離子刻蝕及酸洗——鍍減反射膜——絲網(wǎng)印刷——快速燒結(jié)等。

其中“鍍減反射膜”，工業(yè)生產(chǎn)中常采用PECVD設(shè)備制備減反射膜。PECVD即等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積。它的技術(shù)原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體SiH₄和NH₃，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜即氮化硅薄膜。

在Si片表面生長(zhǎng)Si₃N₄膜層時(shí)，會(huì)在工藝腔室和特氣槽表面中同樣沉積上Si₃N₄，隨著沉積Si₃N₄數(shù)量的增加，特氣槽上的Si₃N₄局部掉落在Si片表面導(dǎo)致產(chǎn)品不合格率增加。

因此，需要在設(shè)備連續(xù)運(yùn)行一周左右，暫停設(shè)備進(jìn)行維護(hù)，將特氣槽清理干凈。缺點(diǎn)是很難把Si₃N₄清理干凈，且耽誤產(chǎn)量，另外會(huì)導(dǎo)致特氣槽發(fā)生變形。

所以，如何提供一種柔性高效PECVD特氣槽，解決上述缺陷，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種柔性高效PECVD特氣槽，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，具體方案如下：

一種柔性高效PECVD特氣槽， 包括左倉(cāng)室4、右倉(cāng)室7，所述左倉(cāng)室4內(nèi)設(shè)有左滾軸8，所述右倉(cāng)室7內(nèi)設(shè)有右滾軸5，所述左滾軸8以及所述右滾軸5之間纏繞著金屬薄片1，所述金屬薄片1圍繞在反應(yīng)腔室10的外側(cè)，所述金屬薄片1上設(shè)有特氣孔2，所述特氣孔2與所述反應(yīng)腔室10上的特氣孔氣路對(duì)應(yīng)。

具體的，所述反應(yīng)腔室10的截面為梯形。

具體的，所述金屬薄片1的外側(cè)還設(shè)有兩個(gè)以上滾輪3。

具體的，所述反應(yīng)腔室10的上底面由所述金屬薄片1通過(guò)卡子6連接形成。

具體的，所述卡子6包括卡子本體60以及固定裝置61，所述卡子主體60內(nèi)設(shè)有上下兩層的滾珠62。

具體的，所述反應(yīng)腔室10的上底面的所述金屬薄片1的上方設(shè)有磁性塊9。

具體的，所述金屬薄片1為柔性金屬薄片。

具體的，所述左滾軸8或所述右滾軸5與電機(jī)連接。

一種柔性高效率PECVD特氣槽的使用方法，包括如下步驟：

S1：打開(kāi)左倉(cāng)室4或右倉(cāng)室7，將纏繞有金屬薄片1的卷軸插入左滾軸8或右滾軸5上；

S2:拉出左滾軸8或右滾軸5上的金屬薄片1，繞過(guò)滾輪3和卡子6固定到右倉(cāng)室7內(nèi)的右滾軸5上或者左倉(cāng)室4內(nèi)的左滾軸8上，使特氣孔2和特氣管路相對(duì)應(yīng)；

S3：設(shè)定工作時(shí)長(zhǎng)為80-150小時(shí)；